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光学膜用EBガン

EGOシリーズ

EGO-1G

アルバック

アルバックの多年にわたる技術の畜積をもとに設計された信頼性の高いEBガンです。

特長

  • 高性能偏向コイルにより、優れたスイープ性能を実現、安定した均一性の高い蒸着プロセスを実現します。

用途

  • 電子ビーム蒸着用蒸発源

仕様

型式 EGO-1G EGO-40M EGO-206M EGO-406M
ビーム偏向角 270°
るつぼ数 0 4 6 6
るつぼ容量 - 10cc ×2 / 40cc ×2 20cc 40cc
冷却水量 るつぼ - 10L/min 10L/min 10L/min
コイル 2L/min - - -
外形寸法 W×D×H 168×285×174mm 170×309×174mm 200×339×176mm 200×339×176mm
質量 10kg 18kg 18kg 18kg
適用電源 HPS-1000N-G100/G200
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。

フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか?

該非判定結果報告書
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取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

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