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赤外線ゴールドイメージ炉/RTA装置
赤外線ゴールドイメージ炉
Ps,Pssシリーズ
アルバック販売
カーボンナノチューブの生成装置や生産装置まで幅広い分野でご利用可能。
平板面状放射型赤外線加熱炉はΦ2in～Φ300mmまでのウエハ用アニールシステムや生産用焼成炉などにご利用頂けます。
平板面状放射型赤外線加熱炉はΦ2in～Φ300mmまでのウエハ用アニールシステムや生産用焼成炉などにご利用頂けます。
特長
- Ps型は幅40mmの反射面を有し、Pss型は、幅20mmの反射面で高密度ランプ配置が可能
- Ps型、Pss型ともに、反射面の数を増やすことで、幅広い面積を加熱することが可能
用途
- 大型ガラス基板（太陽電池、FPD等）の加熱
- 半導体ウエハの高温高速加熱
- 薄板鋼板の熱処理
仕様
| 型式*1 | 加熱形態 | ランプ数 | 加熱長（発光長） | ランプ電圧 | 電力 |
|---|---|---|---|---|---|
| Ps15V | 平面放射加熱 | 1本 | 140mm | 200V | 1.2kW |
| Ps110V | 265mm | 2.0kW | |||
| Ps116V | 420mm | 300V | 3.0kW | ||
| Ps35V | 3本 | 140mm | 200V | 3.6kW | |
| Ps310V | 265mm | 6.0kW | |||
| Ps316V | 420mm | 300V | 9.0kW | ||
| Pss35V | 140mm | 200V | 3.6kW | ||
| Pss38V | 200mm | 4.8kW | |||
| Pss310V | 265mm | 6.0kW | |||
| Pss316V | 420mm | 300V | 9.0kW |
＊1 型式番号の意味 Ps(s)タイプ
- Ps(s)310Vの場合
- P：放物面反射、s(s)：反射面の幅（s:40o幅、ss:20o幅）、3：ランプ本数、10：ランプ長さ（インチ）、V：平面加熱
- 加熱炉には、冷却水が必要です。予めご了承ください。
- 加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。
- 上記以外にも、豊富に取り揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。
