自動タイプ

UNECSシリーズ

UNECS-3000A

アルバック

マッピング測定が可能な自動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

特長

  • 高速測定:
    独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現しました。
  • 可視分光対応:
    波長範囲は標準タイプ(530nm~750nm)および可視分光タイプ(380nm~760nm)から選択できます。
  • コンパクトなセンサユニット:
    投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要もありません。
  • 豊富なラインアップ:
    ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動/自動ステージタイプや大型基板タイプ、大気/真空環境に対応した装置ビルトインタイプなど、多様な用途に対応したラインアップを用意しています。

用途

  • 透明または半透明薄膜(酸化膜、窒化膜、レジスト、ITO など) の膜厚、屈折率、消衰係数の測定

仕様

モデル 1500A 2000A 3000A
波長範囲 530~750nm、380~760nm(どちらか選択)
スポット径 Φ1mm、Φ0.3mm(どちらか選択)
入射角度 70°固定
膜厚再現性 1σ = 0.1nm
膜厚範囲 1nm ~ 2μm
測定時間 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
ステージ Φ150mm自動 Φ200mm自動 Φ300mm自動
自動測定 200点 200点 2,000点
制御PC ノートブックタイプ(操作・解析ソフト付き)
機器構成 測定本体、コントローラ、操作PC(ノートタイプ)、取扱説明書(CD)

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