高速分光エリプソメータの基礎知識

高速分光エリプソメータ UNECSの特長

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高速分光エリプソメータ UNECS シリーズ

アルバックの高速分光エリプソメータ(UNECSシリーズ)は、薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定します。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置への組み込みが可能なビルトインタイプまで用途に応じた幅広いラインアップを揃えています。

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■高速測定
回転機構を持たない独特な測定方式により、最速20msの高速測定を実現
繰り返し測定や多ポイントの分布測定などが短時間で計測可能 
■可視分光対応
波長範囲は、標準タイプ(530nm-750nm)の他、可視分光タイプ(380nm-760nm)も加わり、より幅広い用途に対応
■コンパクトなセンサユニット
投受光センサは、回転機構を持たない光学素子のみで構成し、非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスは不要
■豊富なラインアップ
ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動/自動ステージタイプや大型基板タイプ、大気/真空環境に対応した装置ビルトインタイプなど、多様な用途に対応可能


タイプ:ポータブル

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型式
(ステージタイプ)
波長範囲(nm) スポット径(mm) Zフォーカス 追加機能
530-750 380-760 1 0.3 手動 自動 高精度
マップ
2000点
3D表示
UNECS-
Portable
(固定タイプ)
- - - - -
UNECS-
Portable-030
(固定タイプ)
- - - - -
UNECS-
PortableW
(固定タイプ)
- - - - -
UNECS-
PortableW-300
(固定タイプ)
- - - - -

タイプ:手動ステージ
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型式M
(ステージタイプ)
波長範囲(nm) スポット径(mm) Zフォーカス 追加機能
530-750 380-760 1 0.3 手動 自動 高精度
マップ
2000点
3D表示
UNECS-1500M
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500M-030
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500MW
(手動Φ150mm)
- - - - -
UNECS-1500MW-030
(手動Φ150mm)
- - - - -

タイプ:自動ステージ
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型式
(ステージタイプ)
波長範囲(nm) スポット径(mm) Zフォーカス 追加機能
530-750 380-760 1 0.3 手動 自動 高精度
マップ
2000点
3D表示
UNECS-1500A
(自動Φ150mm)
- - -
UNECS-1500A-030
(自動Φ150mm)
- - -
UNECS-1500AW
(自動Φ150mm)
- - -
UNECS-1500AW-030
(自動Φ150mm)
- - -
UNECS-2000A
(自動Φ200mm)
- - -
UNECS-2000A-030
(自動Φ200mm)
- - -
UNECS-2000AW
(自動Φ200mm)
- - -
UNECS-2000AW-030
(自動Φ200mm)
- - -
UNECS-3000A
(自動Φ300mm)
- - -
UNECS-3000A-030
(自動Φ300mm)
- - -
UNECS-3000AW
(自動Φ300mm)
- - -
UNECS-3000AW-030
(自動Φ300mm)
- - -

タイプ:ビルトイン
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型式 用途 波長範囲(nm) スポット径(mm)
大気 真空 530-750 380-760 1 0.3
UNECS-1M - - -
UNECS-1M-030 - - -
UNECS-1MW - - -
UNECS-1MW-030 - - -
UNECS-1MV - - -
UNECS-1MVW - - -

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  • ポータブル
    測定部の重量はわずか2.2kgで持ち運びも出来るポータブルタイプです。

  • 高速測定
    最速20msの高速測定を実現、素早く測定・解析ができます。

  • 波長選択
    標準タイプ530〜750nm、可視分光タイプ380〜760nmより選択できます。

  • スポット径選択
    Φ1mmまたはΦ0.3mmより選択できます。

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  • 手動ステージ
    操作性に優れたΦ150mm R-θステージで測定位置決めが容易です。

  • 高速測定
    最速20msの高速測定を実現、素早く測定・解析ができます。

  • 波長選択
    標準タイプ530〜750nm、可視分光タイプ380〜760nmより選択できます。

  • スポット径選択
    Φ1mmまたはΦ0.3mmより選択できます。

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■測定解析
簡単に測定・解析が行えるシンプルな構成
測定・フィッテイング結果も瞬時に解析・表示


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  • 150-300mm対応
    Φ150,200,300mmの3機種から選択できます。

  • 自動ステージ・オートフォーカス
    自動ステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

  • 高速測定
    最速20msの高速測定を実現、素早く測定・解析ができます。

  • 波長選択
    標準タイプ530〜750nm、可視分光タイプ380〜760nmより選択できます。

  • スポット径選択
    Φ1mmまたはΦ0.3mmより選択できます。

■測定解析
R-θ式自動ステージを搭載、自動マッピング測定
基板をセットしてスタートボタンを押せば、オートフォーカス(高さ自動調整)→指定座標測定→フィッティング解析→基板アンロードまで自動検知します。


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シンプルで使いやすいソフトウェアで誰にでも高精度な分布測定が行えます。

  • 測定座標はR-Θ(半径と角度)とX,Y(前後・左右)の2通りで入力できます。(最大で200ポイント)
  • 測定結果はリアルタイムに表示されます。
  • 測定結果(ψプサイ、Δデルタの波長範囲での分布グラフ)がリアルタイム表示されます。後から再解析も可能です。

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  • ビルトイン
    軽量・コンパクトなセンサユニットにより、成膜装置などへの組み込みが容易に行なえます。

  • 高速測定
    最速20msの高速測定を実現、素早く測定・解析ができます。

  • 波長選択
    標準タイプ530〜750nm、可視分光タイプ380〜760nmより選択できます。

  • スポット径選択
    Φ1mmまたはΦ0.3mmより選択できます

  • 真空対応
    通常の大気タイプのほか、真空環境に対応した真空タイプも用意しています。

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測定再現性

高速測定と、優れた測定再現性を両立

測定が早くても、データの信頼性は低下しません。多くの(他社)同等製品と比べ、格段に安定した再現性が得られます。

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測定 膜厚(nm) 屈折率(633nm)
1 205.6 1.459
2 205.7 1.459
3 205.5 1.458
4 205.6 1.459
5 205.5 1.459
6 205.6 1.459
7 205.6 1.459
8 205.7 1.458
9 205.6 1.459
10 205.6 1.458
平均値 205.6 1.459
最大値 205.7 1.459
最小値 205.5 1.458
標準偏差 0.050 0.0003
標準偏差(%) 0.02% 0.02%

■自動マッピング測定
高速マッピング測定で膜厚分布を短時間で評価可能
測定座標の入力はX,Yモードまたは R-θモードにて簡単に指定可能


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マテリアルテーブルファイル

膜や基板の光学定数を納めたマテリアルテーブルファイルは公開しているので、ユーザ側で自由に追加や編集ができます。実際の膜質に近いデータを構築していくことで、より信頼性の高い解析が行えます。

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  • 材料ごとの光学定数(屈折率や消衰係数)を収納したマテリアルテーブルファイルをユーザが自由に編集追加することができます。
  • 主要な材料の文献値は、あらかじめライブラリに収納。これ以外の材料や未知の材料を評価する場合、または文献値ではうまく解析できない場合などは、実測したデータを元にファイルの内容を編集をしたり、新たに追加することが簡単にできます。
    これにより信頼性の高い解析が可能となりました。
  • 多くのマテリアルデータファイルは、非公開(ユーザでは編集不可)としているため、都度メーカに編集・解析を依頼し、時間が必要となります。基本的に有償が多く、未知の材料を扱うR&Dでの不便な状況を解消します。

高速分光エリプソメータの基礎知識

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