手動タイプ
手動タイプの導入・購入・検討について
持ち運びが可能なポータブルモデル及び150mm手動ステージ付きモデルを用意しています。
手動タイプ
Model:UNECSｰPortable
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
UNECSｰPortableは測定部の重量が2.2kgと軽量・コンパクトで、持ち運びも容易にできるポータブルタイプです。
小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属し、ステージから取り外して大型のサンプルなどの測定もできます。
手動タイプ
Model:UNECS-1500M
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
UNECS-1500Mは、操作性の良いΦ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。