手動タイプ

UNECSシリーズ

UNECS-1500M

アルバック

Φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いΦ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。

特長

  • 高速測定:
    独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現しました。
  • 可視分光対応:
    波長範囲は標準タイプ(530nm~750nm)および可視分光タイプ(380nm~760nm)から選択できます。
  • コンパクトなセンサユニット:
    投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要もありません。
  • 豊富なラインアップ:
    ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動/自動ステージタイプや大型基板タイプ、大気/真空環境に対応した装置ビルトインタイプなど、多様な用途に対応したラインアップを用意しています。

用途

  • 透明または半透明薄膜(酸化膜、窒化膜、レジスト、ITO など) の膜厚、屈折率、消衰係数の測定

仕様

波長範囲 530~750nm、380~760nm(どちらか選択)
スポット径 Φ1mm、Φ0.3mm(どちらか選択)
入射角度 70°固定
膜厚再現性 1σ = 0.1nm
膜厚範囲 1nm ~ 2μm
測定時間 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
ステージ Φ150mm手動式R-θステージ
制御PC ノートブックタイプ(操作・解析ソフト付き)
機器構成 測定本体(手動ステージ、コントロールBOX付き)
光源ユニット、操作PC(ノートタイプ)、取扱説明書(CD)

ダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。
ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました