手動タイプ
UNECSシリーズ
アルバック
軽量・コンパクトなポータブルタイプ
| 波長範囲 | 530～750nm、380～760nm（どちらか選択） | |
| スポット径 | Φ1mm、Φ0.3mm（どちらか選択） | |
| 入射角度 | 70°固定 | |
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚範囲 | 1nm～2μｍ | |
| 測定時間 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| ステージ | 固定タイプ（Φ50mm以下、取り外し可） | |
| 制御PC | ノートブックタイプ（操作・解析ソフト付き） | |
| 機器構成 | 測定本体（固定ステージ付き）、コントロールBOX、光源ユニット 操作PC（ノートタイプ）、取扱説明書（CD） |
|
電源：AC100 or 200V 真空ポンプ：UNECS-1500A/2000A/3000Aはステージが回転するので、真空チャック用の真空ポンプの準備を推奨します。
UNECSの材料データベースはユーザで簡単に追加や編集することができます。実際のプロセスに応じ最適なデータベースを作成することで、より一層解析の信頼性をアップできます。
サンプリングのご依頼に際し、以下の情報提供をお願いします。
①基板の大きさ
②材質
③膜の材質
④膜厚
⑤多層膜の場合は膜の構成（膜の順番）
エリプソメータは基板や膜の材質、組み合わせにより測定・解析の信頼性が変化したり、困難になる場合があります。
詳細は最寄の販売窓口にご相談下さい。
分光エリプソでは解析の初期値に使用するため、測定材料（膜や基板）のデータベースが必要です。UNECSでは現在108種類の材料データベースを持っていて幅広い材料に対応できます。（随時更新中）
光を透過しない厚い金属膜や光を吸収してしまう吸収膜は測定が出来ません。 但し金属膜でも30nm以下の薄膜（光が透過するレベル）であれば測定可能な場合もあります。
光が透過する、透明／半透明の薄膜が測定できます。酸化膜や窒化膜、レジストやITOなどが代表的なものです。単層膜のほか多層膜も測定できます。
測定できる膜厚の仕様値は1nm～2μmです。 2μm以上の厚膜では信頼性が低下しますので注意してください。
日常のメンテナンスは光源ランプの交換とテストピース等を使用した校正値の確認となります。
手動タイプだと、持ち運び可能なポータブルタイプ、6インチ試料台が付いた1500Mがあります。 自動タイプではΦ150～Φ300mmに対応した、1500A、2000A、3000Aがあります。この他成膜装置や検査装置に搭載するビルトインタイプがあります。
消耗品は光源ランプとテストピースです。ランプは標準波長用のハロゲンタイプと可視光用のキセノンタイプがあります。どちらもユーザで交換が可能です。寿命は1000～1200時間になります。
繰り返し再現性（1σ）＝0.1nm以下です。 （これはSiO2膜100nmの標準試料での値です） 膜厚値±何％という仕様値はありません。
その情報は誤りです。 温度特性は非常に優れています。温度パラメータに依存されない解析アルゴリズムの採用で、高精度な測定が可能です。（技術資料あり）
残念ですがフィルム上の薄膜測定はＮＧです。測定光がフィルム裏面からも反射してきてしまい信頼性が低下してしまいます。
可能で有れば、Siなど他の基板に成膜してもらえれば測定は可能です。
主にSiやガラス基板などに成膜された透明薄膜の膜厚や光学定数（屈折率、消衰係数）を測定します。
光を透過するような非常に薄い膜（約30nm以下）であれば測定できる可能性が高いです。
MSE（平均自乗誤差）の値で信頼性の見当が付けられます。 この値は実際に計測したデータ曲線とフィッティング解析で求めたフィッテイング曲線の誤差を示しており、数値が小さいほどフィッティング誤差が少ない＝信頼性が高いと判断できます。 但し、あくまでもフィッティング解析での誤差が小さいという意味なので、実際には他の手法で計測してみたり、理論的に正しいか検討が必要な場合もあります。
波長範囲と膜厚精度はほとんど関係ありません。波長に依存するのは光学定数（屈折率や消衰係数）です。紫外や赤外域などで光学定数の評価が必要な場合には広範囲な波長が必要となりますが、膜厚の評価の場合は必要ありません。
次の3点が必要となります。
①段差計などで測定した既知の膜厚 ②膜の構成 ③基板の材質
①測定速度：UNECSでは最速20msで測定が可能です。 ②測定範囲：任意の間隔で膜厚を測定し、Mappingを作成することができます。 ③非接触：光を用いた非接触測定なので、測定したサンプルを次のプロセスでも使うことができます。 ④消耗品がない：AFMのプローブのような定期的に交換が必要な特殊部品はありません。
エリプソメータは、半導体やディスプレイ分野をはじめ、様々な分野で幅広く使用されています。Siやガラス基板上などに成膜された透明または半透明薄膜（酸化膜、窒化膜、レジスト、ITO など） の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）の測定により、半導体ではリソグラフィ分野でのレジスト膜分布、デイスプレイでは有機ＥＬパネルの有機膜評価などが挙げられます。
エリプソメトリ（偏光解析法）を利用し、光の偏光状態の変化から薄膜の膜厚や光学定数を解析します。ある一定の偏光状態となった光をサンプル表面に入射すると、膜の表面と基板の表面から反射した光の合成光は、薄膜が有ることにより入射した光と位相や振幅が変化します。この位相の変化をデルタ（Δ）、振幅比をプサイ（ψ）と呼び、エリプソメータはこの２つを測定し膜厚や屈折率を求めます。
アルバックの高速分光エリプソメータ（UNECSシリーズ）は、薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定します。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置への組み込みが可能なビルトインタイプまで用途に応じた幅広いラインアップを揃えています。
| タイプ：ポータブル | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
| ||||||||
| 型式 （ステージタイプ） | 波長範囲（nm） | スポット径（mm） | Zフォーカス | 追加機能 | ||||
| 530-750 | 380-760 | 1 | 0.3 | 手動 | 自動 | 高精度 マップ 2000点 | 3D表示 | |
| UNECS- Portable （固定タイプ） | ○ | - | ○ | - | ○ | - | - | - |
| UNECS- Portable-030 （固定タイプ） | ○ | - | - | ○ | ○ | - | - | - |
| UNECS- PortableW （固定タイプ） | - | ○ | ○ | - | ○ | - | - | - |
| UNECS- PortableW-300 （固定タイプ） | - | ○ | - | ○ | ○ | - | - | - |
| タイプ：手動ステージ | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 | ||||||||
| 型式M （ステージタイプ） | 波長範囲（nm） | スポット径（mm） | Zフォーカス | 追加機能 | ||||
| 530-750 | 380-760 | 1 | 0.3 | 手動 | 自動 | 高精度 マップ 2000点 | 3D表示 | |
| UNECS-1500M （手動Φ150mm） | ○ | - | ○ | - | ○ | - | - | - |
| UNECS-1500M-030 （手動Φ150mm） | ○ | - | - | ○ | ○ | - | - | - |
| UNECS-1500MW （手動Φ150mm） | - | ○ | ○ | - | ○ | - | - | - |
| UNECS-1500MW-030 （手動Φ150mm） | - | ○ | - | ○ | ○ | - | - | - |
| タイプ：自動ステージ | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
 | ||||||||
| 型式 （ステージタイプ） | 波長範囲（nm） | スポット径（mm） | Zフォーカス | 追加機能 | ||||
| 530-750 | 380-760 | 1 | 0.3 | 手動 | 自動 | 高精度 マップ 2000点 | 3D表示 | |
| UNECS-1500A （自動Φ150mm） | ○ | - | ○ | - | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-1500A-030 （自動Φ150mm） | ○ | - | - | ○ | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-1500AW （自動Φ150mm） | - | ○ | ○ | - | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-1500AW-030 （自動Φ150mm） | - | ○ | - | ○ | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-2000A （自動Φ200mm） | ○ | - | ○ | - | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-2000A-030 （自動Φ200mm） | ○ | - | - | ○ | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-2000AW （自動Φ200mm） | - | ○ | ○ | - | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-2000AW-030 （自動Φ200mm） | - | ○ | - | ○ | - | ○ | △ | △ |
| UNECS-3000A （自動Φ300mm） | ○ | - | ○ | - | - | ○ | ○ | △ |
| UNECS-3000A-030 （自動Φ300mm） | ○ | - | - | ○ | - | ○ | ○ | △ |
| UNECS-3000AW （自動Φ300mm） | - | ○ | ○ | - | - | ○ | ○ | △ |
| UNECS-3000AW-030 （自動Φ300mm） | - | ○ | - | ○ | - | ○ | ○ | △ |
| タイプ：ビルトイン | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
 | ||||||
| 型式 | 用途 | 波長範囲（nm） | スポット径（mm） | |||
| 大気 | 真空 | 530-750 | 380-760 | 1 | 0.3 | |
| UNECS-1M | ○ | - | ○ | - | ○ | - |
| UNECS-1M-030 | ○ | - | ○ | - | - | ○ |
| UNECS-1MW | ○ | - | - | ○ | ○ | - |
| UNECS-1MW-030 | ○ | - | - | ○ | - | ○ |
| UNECS-1MV | - | ○ | ○ | - | ○ | - |
| UNECS-1MVW | - | ○ | - | ○ | ○ | - |
シンプルで使いやすいソフトウェアで誰にでも高精度な分布測定が行えます。
測定が早くても、データの信頼性は低下しません。多くの（他社）同等製品と比べ、格段に安定した再現性が得られます。
| 測定 | 膜厚（nm） | 屈折率（633nm） |
|---|---|---|
| 1 | 205.6 | 1.459 |
| 2 | 205.7 | 1.459 |
| 3 | 205.5 | 1.458 |
| 4 | 205.6 | 1.459 |
| 5 | 205.5 | 1.459 |
| 6 | 205.6 | 1.459 |
| 7 | 205.6 | 1.459 |
| 8 | 205.7 | 1.458 |
| 9 | 205.6 | 1.459 |
| 10 | 205.6 | 1.458 |
| 平均値 | 205.6 | 1.459 |
| 最大値 | 205.7 | 1.459 |
| 最小値 | 205.5 | 1.458 |
| 標準偏差 | 0.050 | 0.0003 |
| 標準偏差（%） | 0.02% | 0.02% |
膜や基板の光学定数を納めたマテリアルテーブルファイルは公開しているので、ユーザ側で自由に追加や編集ができます。実際の膜質に近いデータを構築していくことで、より信頼性の高い解析が行えます。
製品に関するお問合わせについては
こちらのQRコードをご利用ください
ULVAC SHOWCASE
軽量・コンパクトなポータブルタイプ
| 波長範囲 | 530～750nm、380～760nm（どちらか選択） | |
| スポット径 | Φ1mm、Φ0.3mm（どちらか選択） | |
| 入射角度 | 70°固定 | |
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚範囲 | 1nm～2μｍ | |
| 測定時間 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| ステージ | 固定タイプ（Φ50mm以下、取り外し可） | |
| 制御PC | ノートブックタイプ（操作・解析ソフト付き） | |
| 機器構成 | 測定本体（固定ステージ付き）、コントロールBOX、光源ユニット 操作PC（ノートタイプ）、取扱説明書（CD） |
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