GST-07L-B

アルバック

CPU搭載によるマルチ機能化されたスパッタイオンポンプコントロールです。

特長

小型・軽量
CPU搭載によるマルチ機能化。
この1台で全てのスパッタイオンポンプ（PSTシリーズ）の制御が可能。
通信機器標準装備
外部通信制御機能が標準装備されているので、遠隔操作・自動化運転が可能。
XHV対応
自動起動回路およびソフトスタート機能搭載により、ポンプセルの汚染を最小限に抑えることが可能。（→特許第1340297号他出願中）
安全機能向上
操作スイッチの誤操作防止機能および各種保護用インターロック機能搭載。耐熱・耐寒および電気特性に優れたハイフロンフッ素樹脂高圧ケーブルの採用。
特定有害物質の使用制限（RoHS指令）対応。
CEマーキング対応。

組合せポンプ		アクターポンプ（全てのPSTシリーズ）
動作圧力		10^-2 to 10^-4Pa以下
表示範囲	表示方法	デジタル表示（７セグメントLED表示）
	表示内容
	a）出力電流表示	mA． μAの2レンジ自動切換え（LINEAR表示）
	b）出力電圧表示	DC0.0～7.5kV（H または L）（１レンジLINEAR表示）
	c）圧力表示	Pa, mbr (1×10^-8～1×10^-2Pa) (1×10^-10～1×10^-4mbar)
出力開放電圧		DC+7.5kV （パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え　H.Lの設定電圧は約1.0～7.5kVボリューム可変）
出力電流		DC31mA以下
入力電圧・電流		AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A
MONITOR端子出力信号		パネル７セグメント表示に比例した信号を出力各レンジDC0～10V　F.S.　　100kΩ以上
圧力セットポイント		2点
REMOTE/LOCAL		前面パネルスイッチにより切替
各種入力機能付（REMOTEコネクタ付）（リモート制御、RS232C通信制御搭載）
保護機能		エラー表示/各種保護機能搭載表示点灯で高電圧（HV)出力遮断（ERR 0～8）スタートアップ保護用タイマー設定（1～255分で可変）停電後自動復帰可能（HV-HOLDスイッチ操作）
使用環境	温度範囲	0～40℃
	湿度範囲	85%以下（結露無し）
付属品		入力ケーブル３ｍ
質量		本体：約4kg
外形寸法 W x H x D		W240×H99×D370mm（ラック取付金具除く）

仕様

組合せポンプ		アクターポンプ（全てのPSTシリーズ）
動作圧力		10^-2 to 10^-4Pa以下
表示範囲	表示方法	デジタル表示（７セグメントLED表示）
	表示内容
	a）出力電流表示	mA． μAの2レンジ自動切換え（LINEAR表示）
	b）出力電圧表示	DC0.0～7.5kV（H または L）（１レンジLINEAR表示）
	c）圧力表示	Pa, mbr (1×10^-8～1×10^-2Pa) (1×10^-10～1×10^-4mbar)
出力開放電圧		DC+7.5kV （パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え　H.Lの設定電圧は約1.0～7.5kVボリューム可変）
出力電流		DC31mA以下
入力電圧・電流		AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A
MONITOR端子出力信号		パネル７セグメント表示に比例した信号を出力各レンジDC0～10V　F.S.　　100kΩ以上
圧力セットポイント		2点
REMOTE/LOCAL		前面パネルスイッチにより切替
各種入力機能付（REMOTEコネクタ付）（リモート制御、RS232C通信制御搭載）
保護機能		エラー表示/各種保護機能搭載表示点灯で高電圧（HV)出力遮断（ERR 0～8）スタートアップ保護用タイマー設定（1～255分で可変）停電後自動復帰可能（HV-HOLDスイッチ操作）
使用環境	温度範囲	0～40℃
	湿度範囲	85%以下（結露無し）
付属品		入力ケーブル３ｍ
質量		本体：約4kg
外形寸法 W x H x D		W240×H99×D370mm（ラック取付金具除く）