スパッタイオンポンプのサポートページです。

ダウンロード

取扱説明書・仕様書

• ●GST-07L-B取扱説明書
• ●PST-030AU_PST-030CU_PSTｰ050AU_PSTｰ050CU_PSTｰ100AX_PSTｰ100CX_PSTｰ200AXⅡ_PST-200CXⅡ_PSTｰ400AXⅡ_PSTｰ400CXⅡ_PSTｰ110AU取扱説明書

図面（2D）

• ●PST-030_CU_AU_2D図面（PDF)
• ●PST-030_CU_AU_2D図面（DXF)
• ●PST-050_CU_AU_2D図面（PDF)
• ●PST-050_CU_AU_2D図面（DXF)
• ●PST-100_CX_AX_2D図面（PDF)
• ●PST-100_CX_AX_2D図面（DXF)
• ●PST-110AU_2D図面（PDF)
• ●PST-110AU_2D図面（DXF)
• ●PST-200_CX2_AX2_2D図面（PDF)
• ●PST-200_CX2_AX2_2D図面（DXF)
• ●PST400_CX2_AX2_2D図面（PDF)
• ●PST-400_CX2_AX2_2D図面（DXF)
• ●GST-07L-B_2D図面（PDF)
• ●GST-07L-B_2D図面（DXF)

図面（3D）

• ●PST-030_CU_AU_3D図面（STP)
• ●PST-050_CU_AU_3D図面（STP)
• ●PST-100_CX_100AX_3D図面（STP)
• ●PST-110AU_J_E_3D図面（STP)
• ●PST-200_CX2_AX2_3D図面（STP)
• ●PST-400_CX2_AX2_3D図面（STP)

該非判定結果報告書

• ●スパッタイオンポンプ該非判定結果報告書

SDS

その他

トラブルシューティング

よくある質問

• スパッタイオンポンプの出力ケーブルの耐熱温度を教えてください
• スパッタイオンポンプにおいて、出力ケーブルを連結延長しても問題ありませんか？
• 他の内容も確認がしたいです。