真空ポンプ(高真空)

アルバックの真空ポンプは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。ターボ分子ポンプやクライオポンプ、スパッタイオンポンプなど、あらゆる領域・条件・用途向けの真空ポンプをラインアップしています。

ポンプ種類

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到達圧力

※下記表は横にスクロールしてご覧ください。
設定なし 1.0×10-10 1.0×10-8 1.0×10-6 1.0×10-4 1.0×10-2 1.0 1.0×102 1.0×103
(単位) Pa

排気速度

※下記表は横にスクロールしてご覧ください。
0 100 500 2000 3000 4000 5000 10000 50000 70000
(単位) L/s

製品種別

フランジサイズ

ブランド

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製品情報

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