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スパッタイオンポンプ
PST
アルバック
スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した、超高真空領域での排気特性を強化したポンプです。
新型素子と磁場の最適化を図ることにより、極・超高真空領域での排気特性を向上させています。
新型素子と磁場の最適化を図ることにより、極・超高真空領域での排気特性を向上させています。
特長
- 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-9Pa台の到達圧力を実証。
- 希ガス排気強化型（AU型）はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。（当社比）
- 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
- 短時間で超高真空領域まで排気可能。
- 超高真空領域における優れた起動特性。（放電が超高真空領域まで持続）
用途
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 電子線描画装置
- 振動を嫌う分析装置
- 極・超高真空環境の利用など
仕様
| 型式 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
| 排気対象ガス | 活性ガス | 希ガス | 活性ガス | 希ガス | 活性ガス | 希ガス | |
| 再生排気速度* | 0.03m3/s N2ガス測定時 |
0.013m3/s Ar測定時 |
0.045m3/s N2ガス測定時 |
0.016m3/s Ar測定時 |
0.10m3/s N2ガス測定時 |
0.05m3/s Ar測定時 |
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| 到達圧力 | 10-9Pa | ||||||
| 動作圧力 | 推奨値 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | ||||
| 内容積 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3x10-3m3 | 3.3x10-3m3 | ||||
| ポンプ素子数 | CU型セル×1式 | AU型セル×1式 | CU型セル×1式 | AU型セル×1式 | CX型セル×1式 | AX型セル×1式 | |
| 接続フランジ型式 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
| 印加電圧 | DC+7.5kV | ||||||
| 加熱ヒータ | 設定なし | 単相AC200V, 300W | 単相AC200V, 320W | ||||
| 標準ベークアウト 温度 |
250℃ | ||||||
| 質量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
| 外形寸法 W×D×H | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | ||||
| 使用環境 | 温度範囲 | 5~40℃ | |||||
| 湿度範囲 | 85%以下(結露なきこと) | ||||||
| ポンプ 固定ボルト穴寸法 |
4か所-M5 深さ10mm |
4か所-M8 深さ6mm |
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| 推奨コントローラ | GST-07L-B | ||||||
*GST-07Lコントローラ使用時
| 型式 | PST-110AU | PST-200CXII | PST-200AXII | PST-400CXII | PST-400AXII | |
| 排気対象ガス | 活性ガス | 活性ガス | 希ガス | 活性ガス | 希ガス | |
| 再生排気速度* | 0.11m3/s N2ガス測定時 |
0.2m3/s N2ガス測定時 |
0.02m3/s Ar測定時 |
0.36m3/s N2ガス測定時 |
0.19m3/s Ar測定時 |
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| 到達圧力 | 10-9Pa | 10-10Pa | ||||
| 動作圧力 | 推奨値 | <4.5x10-3Pa | <3.8x10-3Pa | <3.0x10-3Pa | ||
| 内容積 | 6.5x10-3m3 | 11x10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| ポンプ素子数 | AU型セルx2 | CX型セル×2式 | AX型セル×2式 | CX型セル×4式 | AX型セル×4式 | |
| 接続フランジ型式 | UFC152 | UFC203 | ||||
| 印加電圧 | DC+7.5kV | |||||
| 加熱ヒータ | 設定なし | 単相AC200V, 600W | 単相AC200V, 800W | |||
| 標準ベークアウト温度 | 250℃ | |||||
| 質量 | 36.5kg | 65kg | 124kg | |||
| 外形寸法 W×D×H | 171×387×293mm | 296×361×376mm | 296×544×376mm | |||
| 使用環境 | 温度範囲 | 5~40℃ | ||||
| 湿度範囲 | 85%以下(結露なきこと) | |||||
| ポンプ固定ボルト穴寸法 | 4か所-M6 深さ15mm |
4か所-M8 深さ15mm |
6か所-M8 深さ15mm |
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| 推奨コントローラ | GST-07L-B | |||||
*GST-07Lコントローラ使用時
PSTシリーズ用コントローラ
| 型式 | GST-07L-B | ||
| 入力仕様 | 入力電圧・電流 | AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A | |
| AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A | |||
| 漏洩電流 | 6mA以下 | ||
| 入力電圧切替方式 | 手動(電源内部ディップスイッチによる操作) | ||
| 出力仕様 | 定格電圧 | DC +7.5kV(約1.0~7.5kVボリューム可変) | |
| 定格電流 | DC30mA以下 | ||
| 出力極性 | 正極性 | ||
| 出力特性 | 定電圧特性 | ||
| 表示方式 | デジタル表示 （７セグメントLED表示） | ||
| 表示内容 | 出力電流表示範囲 | 1μA~30mA(mA, μAの2レンジ自動切替) | |
| 出力電圧表示範囲 | DC0.0～7.5kV | ||
| 圧力表示 | Pa表示 | 1×10-8～1×10-2 | |
| mbar表示 | 1×10-10～1×10-4 | ||
| 圧力セットポイント | 2点 | ||
| 保護機能 | エラー表示/各種保護機能搭載 | ||
| 表示点灯で高電圧(HV)出力遮断(Err. 0～8) | |||
| 停電後の復帰 | HV-ONスイッチがONの状態の時、停電後自動復帰可能 | ||
| 外部制御機能 | 各種入力機能付(REMOTEコネクタ付)、RS232C通信制御搭載 | ||
| MONITOR端子出力信号 | パネル７セグメント表示に比例した信号を出力、各レンジDC0～10VF.S. | ||
| 許容負荷インピーダンス100kΩ以上 | |||
| REMOTE/LOCAL | 前面パネルスイッチにより切替 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷方式 | ||
| 質量 | 本体 | 4.0kg | |
| 外形寸法 | W×H×D | 200 x 99 x 370mm(ラック取付金具除く) | |
| 使用環境 | 温度範囲 | 0～40℃ | |
| 湿度範囲 | 85%以下(結露なきこと) | ||
| 適合規格 | CE, cTUVus | ||
排気速度曲線
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寸法図
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