高周波電源システム
高周波電源_Nシリーズ
高周波電源システム
高周波電源_Nシリーズの導入・購入・検討について
高周波電源_Nシリーズ
Model:N
"Model:RFS-N"は13.56MHz,0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。 高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、RF電源本体のユニットのみでRF電源の電力制御とマッチングシステム制御が可能です。