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高周波電源システム
高周波電源_Nシリーズ
Nシリーズ
アルバック
RFS-Nシリーズは13.56MHz,0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。 高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、RF電源本体のユニットのみでRF電源の電力制御とマッチングシステム制御が可能です。
特長
- 電力変換効率の良いRF回路を搭載することにより、省エネルギーを実現
- 高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
- RF電源にオートマッチング機能を内蔵
- 外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
- 装置メーカーとして長年蓄積したノウハウをベースに設計することにより圧倒的な信頼性を実現
仕様
| RF電源型式 | RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1330N | RFS-1350N | |
| 入力仕様 | 入力電圧 | 単相AC200V - 220V | 3相AC200V - 220V | ||
| 入力容量 | 1.2 kVA以下 | 1.8 kVA以下 | 5 kVA以下 | 8 kVA以下 | |
| 出力仕様 | 発振周波数 | 13.56MHz | |||
| 定格電力 | 500W（50Ω 負荷時） | 1000W（50Ω 負荷時） | 3000W（50Ω 負荷時） | 5000W（50Ω 負荷時） | |
| 同軸出力コネクタ | N型 | HN型 | DIN 7/16 | ||
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷+水冷 | |||
| 冷却水不要 | 流量 4L/min | 流量 6L/min | |||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 240 x 495 x 150（mm） | 480 × 500 × 150 (mm) | |||
| 質量 | 約11kg | 約23kg | |||
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | ||||
| マッチングボックス型式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 入力電力 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 許容出力電流 | 30Arms | 80Arms | 120Arms | |
| 許容出力電圧 | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 水冷（2L/min） | ||
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 375 × 250 × 120 (mm) | 375 × 250 × 170 (mm) | 450 × 500 × 248 (mm) | |
| 質量 | 約8kg | 約10kg | 約21kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | |||
