高周波電源システム
整合器内蔵_高周波電源_RMG
高周波電源システム
整合器内蔵_高周波電源_RMGの導入・購入・検討について
整合器内蔵_高周波電源_RMG
Model:RMG-1303
RMG-1303はRFスパッタリング、プラズマCVD、エッチング等のプラズマプロセス用の13.56MHz,300W出力の整合器内蔵型RF電源です。
整合器とRF電源を一体化したことで小型･軽量化を実現しています。
低出力から制御が可能となっており、研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用いただくことができます。