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高周波電源システム
整合器内蔵_高周波電源_RMG
RMG-1303
アルバック
RMG-1303はRFスパッタリング、プラズマCVD、エッチング等のプラズマプロセス用の13.56MHz,300W出力の整合器内蔵型RF電源です。
整合器とRF電源を一体化したことで小型･軽量化を実現しています。
低出力から制御が可能となっており、研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用いただくことができます。
特長
- 1Wの低出力から制御が可能
- 500Hz～100kHzのパルスRF出力機能を標準搭載
- 外部同期端子を標準搭載
- 単相100V～220V / 50Hz～60Hzの幅広い入力が可能
- 200mm×200mm×350mm / 10kgの小型軽量な電源
- CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS
仕様
| 型式 | RMG-1303 | |
| 電源機能部 | 入力電圧 | 単相 AC100-220V |
| 入力容量 | 700VA以下 | |
| 発振周波数 | 13.56MHz±0.01% | |
| 定格電力 | 300W (50Ω負荷時) | |
| マッチング機能部 | 定格電力 | 300W |
| 許容出力電流 | 10Arms | |
| 許容出力電圧 | 2500Vpp/-2500Vdc(標準) *1 | |
| 出力電極/オプション | 2-M4(標準)/N,HN,DIN7/16 *2 | |
| 共通部 | 冷却方式 | 強制空冷 |
| 外形寸法（W×D×H）突起物を含まない | 200×350×200（mm） | |
| 質量 | 約10kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（欧州） | |
*1 オプションで定格電圧の変更が可能です。
*2 オプションでコネクタ出力タイプへの変更が可能です。
