Qulee with YTP-H 真空仕様 (1, 10, 100, 500, 3000Pa)

アルバック

差動排気系キット付四重極型質量分析計（ Qulee with YTP-H ）は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。
各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR & D まで幅広く活用いただけます。

特長

コストパフォーマンス抜群の汎用仕様差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析（RGA）までを1台で対応可能
コンパクト設計標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能
簡単操作 One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
仕様圧力は、3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paから選択可能
測定質量範囲 1 ～ 100 (BGM2-101 / 102)、1 ～ 200 (BGM2-201 / 202)、1 ～ 300 (HGM2-302)から選択可能
低騒音：運転音が43dB(A)以下の低音設計
真空計の専用表示器が不要：真空計の信号を取り込み操作画面への表示が可能（真空計はオプション）
リークテスト機能の充実ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
Ethernet対応Qulee QCS Ver4.2以降、付属ソフトウェアが標準搭載（Windows 8/10/11対応）

ガス分析計本体		Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 から選択 ※Qulee本体の仕様は別途個別カタログを参照ください
		ソフトウェア　Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応）
最大サンプリング圧力		3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa から選択
真空仕様	ガス導入系 (3000 ~ 1Pa仕様)	手動ベローズバルブ (2系統 : オリフィスライン / ダイレクトライン) 取合フランジ : ICF070
	最大サンプリング圧力	3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Paから、1種類を選択
バリアブルリークバルブ仕様	サンプリング圧力	手動調整により、大気圧~1e-3Pa程度の制御可能
排気ユニット	Desktop YTP (YTP70A-D)	ターボ分子ポンプ	排気速度 70 L/s (N₂)
		ドライポンプ（粗引系）	排気速度 20 L/min (ダイヤフラム型)
		電源電圧	AC100-240V
付属品		AC100V用付属電源コード 1、DesktopYTP用ベースステージ 2、Qulee用ACアダプター、Qulee用LANケーブル (3m)、ソフトウェアインストールディスク、フランジ固定用ボルトセット、ガスケット (ICF114G、ICF070G)、固定用ねじ各種
オプション		電離真空計セット (電離真空計SH200-1、測定子ケーブル2m、クロス型配管、ボルトセット、ガスケット)、USB-LANアダプタ、スイッチングハブ (8ポート / 16ポート) 3、フロアカートセット 4

*1　AC100V日本国内使用以外の環境で使用される場合は、別途電源コードをお求めください。
*2　DesktopYTPを据え付ける際に必ず使用してください。
*3　スイッチングハブには、別途ACアダプターが必要です。
*4　フロアカートセットの組み立ては、お客様にて行っていただくものになります。

Qulee with YTP-H 専用　オプション

大気圧サンプリングユニットセット		AC100V、大気圧サンプリングユニット、フロアカート、OAタップset
大気圧サンプリングユニットセット		AC200V、大気圧サンプリングユニット、フロアカートset
電離真空計セット		SH200，クロス配管，ボルトset
フロアカートセット	QFC-001	大気圧仕様には標準付属、真空仕様の移動用のフロアカート、大気圧仕様には標準付属
2系統ガス導入バルブ		オリフィス付属無し、真空仕様には標準付属
オリフィス　0.02mm		500～3000Pa
オリフィス　0.05mm		100～500Pa
オリフィス　0.1mm		10～100Pa
オリフィス　0.4mm		1～10Pa
オリフィス　1.0mm		0.05～1Pa
バリアブルリークバルブ		大気圧～10E-8Pa程度、ガスアウトレット側/ICF-070、ガスインレット側/ICF-034