アルバックグループの
真空搬送ロボット

真空搬送ロボットは、以下のような役割を担います。
・ウェハや基板の搬送
人手による操作が不要になり、真空環境を維持したまま効率的なプロセスが可能となります。
・高精度な位置決め
搬送先に対して、正確な位置決めを行います。これにより、後続の工程でのプロセス精度が確保されます。
・ 汚染防止
真空環境では、パーティクルや汚染物質の混入が大きな問題になります。真空搬送ロボットは、非接触での搬送やクリーンな設計によって、これらの問題を最小限に抑えます。
・プロセスの自動化と効率化
連続的なプロセスの流れを支える自動搬送を実現します。これにより、処理時間の短縮や人件費の削減が可能になります。
・高温や特殊環境への対応
真空環境下では、温度や圧力の変動が発生することがあります。真空搬送ロボットは、これらの条件下でも高い信頼性で作業を継続できるよう設計されています。
・生産性の向上
ロボットを活用することで、プロセス全体のスループットを向上させ、多品種少量生産や大量生産のどちらにも柔軟に対応可能です。