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真空搬送ロボット

COVOT

COVOTシリーズ

アルバック

真空機器メーカとして培ってきたアルバックの技術を投入したクリーンで汎用性の高い真空搬送ロボットです。

特長

ストロークや旋回半径、搬送基板の数などに合わせた豊富なアームを用意しています。
COVOT-CR4は、磁性流体シールを採用しているため、10-6Paの高真空でもご利用可能です。

仕様

型式		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
使用圧力領域		大気圧～10-1Pa	大気圧～10-6Pa
ウェーハサイズ		300mm	300mm
ウェーハ保持枚数		4枚	2枚
最大到達距離 *		880mm	1050mm
回転角度		360° エンドレス	±180°
昇降ストローク		110mm	120mm
最小旋回直径 *		980mm	960mm
可搬重量（ハンド含む）		1kg	1kg
動作速度	伸縮	Max 1.5sec / フルストローク	Max 1.5sec / フルストローク
	旋回	Max 2.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	昇降	Max 1.5sec / 20mm	Max 3.5sec / 105mm
繰り返し位置精度	伸縮	±0.1mm	±0.1mm
	旋回	±0.1mm	±0.1mm
	昇降	±0.1mm	±0.1mm
ティーチングペンダント		付属	付属
コントローラ		別置き	別置き

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。

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オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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真空搬送ロボット

COVOT

COVOTシリーズ

真空機器メーカとして培ってきたアルバックの技術を投入したクリーンで汎用性の高い真空搬送ロボットです。

特長

ストロークや旋回半径、搬送基板の数などに合わせた豊富なアームを用意しています。
COVOT-CR4は、磁性流体シールを採用しているため、10-6Paの高真空でもご利用可能です。

仕様

型式		COVOT-6-X5	COVOT-CR4
使用圧力領域		大気圧～10-1Pa	大気圧～10-6Pa
ウェーハサイズ		300mm	300mm
ウェーハ保持枚数		4枚	2枚
最大到達距離 *		880mm	1050mm
回転角度		360° エンドレス	±180°
昇降ストローク		110mm	120mm
最小旋回直径 *		980mm	960mm
可搬重量（ハンド含む）		1kg	1kg
動作速度	伸縮	Max 1.5sec / フルストローク	Max 1.5sec / フルストローク
	旋回	Max 2.0sec / 180°	Max 2.0sec / 180°
	昇降	Max 1.5sec / 20mm	Max 3.5sec / 105mm
繰り返し位置精度	伸縮	±0.1mm	±0.1mm
	旋回	±0.1mm	±0.1mm
	昇降	±0.1mm	±0.1mm
ティーチングペンダント		付属	付属
コントローラ		別置き	別置き

*取り付けアームおよびハンドにより異なります。