複数のウエハーを搬送可能なHi-Truoghputな真空搬送ロボット
真空搬送ロボット
COVOT
COVOTシリーズ
アルバック
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COVOTシリーズの導入・購入・検討について
真空機器メーカとして培ってきたアルバックの技術を投入したクリーンで汎用性の高い真空搬送ロボットです。
特長
- ストロークや旋回半径、搬送基板の数などに合わせた豊富なアームを用意しています。
- COVOT-CR4は、磁性流体シールを採用しているため、10-6Paの高真空でもご利用可能です。
仕様
| 型式 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-1Pa | 大気圧～10-6Pa | |
| ウェーハサイズ | 300mm | 300mm | |
| ウェーハ保持枚数 | 4枚 | 2枚 | |
| 最大到達距離 * | 880mm | 1050mm | |
| 回転角度 | 360° エンドレス | ±180° | |
| 昇降ストローク | 110mm | 120mm | |
| 最小旋回直径 * | 980mm | 960mm | |
| 可搬重量（ハンド含む） | 1kg | 1kg | |
| 動作速度 | 伸縮 | Max 1.5sec / フルストローク | Max 1.5sec / フルストローク |
| 旋回 | Max 2.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 昇降 | Max 1.5sec / 20mm | Max 3.5sec / 105mm | |
| 繰り返し位置精度 | 伸縮 | ±0.1mm | ±0.1mm |
| 旋回 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| 昇降 | ±0.1mm | ±0.1mm | |
| ティーチングペンダント | 付属 | 付属 | |
| コントローラ | 別置き | 別置き | |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。
