真空搬送ロボット
COVOT
真空搬送ロボット
COVOTの導入・購入・検討について
アルバック製真空搬送ロボットCOVOTシリーズは、複数のウェハーを効率的に搬送でき、Hi-Throughputを実現しています。また、搬送中の自動補正機能を搭載しており、信頼性の高い性能を誇る真空搬送ロボットです。