真空搬送ロボット
ELEC-RZ
真空搬送ロボット
ELEC-RZの導入・購入・検討について
アルバック製真空搬送ロボットELEC-RZは、磁性流体シールを採用しており、10??Pa以下の圧力環境でも使用可能です。また、アクチュエータの小型化によりコンパクト化を実現しています。豊富なアームバリエーションを取り揃えており、汎用性に優れた信頼性の高い真空搬送ロボットです。