到達圧力性能を向上
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
高真空タイプ
DAU-20
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DAU-20の導入・購入・検討について
高真空タイプ / ３段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 / プラグ付き電源コード / スイッチ付き
特長
- 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
- 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。
- ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。
- 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
- 大気圧から作動が可能。
- シンプル構造で、メンテナンスが容易。
仕様
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※1：到達圧力の（ ）内はゲージ圧表示となります。
対応規格／電圧
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●：標準、○：オプション対応、－：対応不可
※ＴＵＶ認証 ： 製品安全試験・認証を行う国際的な第三者機関の審査により、欧州規格に適合した高品質の製品です。
※ｃＴＵＶｕｓ認証 ： 製品安全試験・認証を行う国際的な第三者機関の審査により、カナダ規格および米国規格に適合した高品質の製品です。
注）購入ロット条件あり （台数については、お問合せください）
※ＴＵＶ認証 ： 製品安全試験・認証を行う国際的な第三者機関の審査により、欧州規格に適合した高品質の製品です。
※ｃＴＵＶｕｓ認証 ： 製品安全試験・認証を行う国際的な第三者機関の審査により、カナダ規格および米国規格に適合した高品質の製品です。
注）購入ロット条件あり （台数については、お問合せください）
使用上の注意
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１
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負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。
この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。 |
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２
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腐食性ガス、有機溶剤、液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。
また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。 |
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３
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屋内専用のポンプです。
雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。 |
寸法図
排気速度曲線
