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真空ポンプ（低・中真空）
真空ポンプ（低・中真空）の導入・購入・検討について
真空ポンプとは、密閉された空間から気体を排出し、大気圧よりも低い圧力状態（真空）を作り出す機械です。真空ポンプには、排気するしくみや排気速度によって、多くの種類があり、目的や用途によって使い分ける必要があります。
ポンプ種類
スクリュー型ドライ真空ポンプ
スクリュー型真空ポンプは、ポンプケーシング内のスクリューローターが噛み合った隙間に流体を導き、回転させることで軸方向に流体を連続移動させる真空ポンプです。
スクリュー型ドライ真空ポンプ
LS
LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。
FPD・電子・半導体産業などの分野では、よりクリーンな真空が必要になり、歩留まり改善、メンテナンス性の改善のための真空ポンプが必要となってきています。その中の代表的なポンプに、ルーツ型ドライ真空ポンプがあります。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
CR
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
ECO-SHOCK
ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする
画期的なアタッチメントです。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
LR
ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、ＰＶＤプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。
スクロール型ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータおよびロータの運動の組み合わせによって、排気するドライ真空ポンプです。
用途は、真空乾燥装置、理化学分析機器、真空吸着搬送装置、真空熱処理炉など幅広い分野で使用されています。
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプとは、ダイアフラムの往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
ダイアフラム型ドライ真空ポンプは、真空排気、真空濃縮、ろ過、脱ガス脱泡、真空チャック、フィルム吸着、 包装機械、光学機械、真空ピンセット、医療用機械、印刷機械 などに用いられます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏芯回転軸に連動するピストンの往復運動により気体を移送する機械式真空ポンプです。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、プリント基板実装装置、真空包装機、装材吸着搬送機、ラベリングマシン、印刷インキ脱泡機、印刷機、写真製板機、スクリーン印刷機、脱泡機、埋没機、焼成炉、吸引機、自動車排ガス分析機、冷媒回収装置、プラズマカッティング装置などに用いられています。
回転翼型ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプは、ロータ、シリンダ、ベーンなどからなる機械式真空ポンプです。
構造がシンプルで、低真空領域で大きな排気速度を得ることができるので、吸着・搬送機械の真空源として広く利用されています。
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプとは、油によってロータ、ステータ、摺動翼板などの部品の間の機密および無効空間の減少を図っている容積移送型真空ポンプです。ロータリーポンプとも呼ばれます。
油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことによって、回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現しています。 また、大気圧から高真空領域まで有効に作動できるポンプの中では最も効率がよい形式であり、安定した排気性能が得られる信頼性の高いポンプです。
油回転真空ポンプ
VS300A-W
VS300A-Wは、回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。クラス最小のフットプリントで、メカニカルブースタポンプの直乗せも可能となりました。また、オイルミストセパレータとオイル戻し機構が内蔵しており、長期間安定した排気性能が得られます。また、オイルやエレメント交換などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
油回転真空ポンプ
VS1501 / VS2401
VS1501／VS2401 は回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。水冷と強制給油方式により高負荷でも安定した排気性能が得られます。
また、大型オイルレベルゲージの採用などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
油回転真空ポンプ
VS650B / VS750B
VS650B／VS750B は回転翼型（1段式）の油回転真空ポンプです。空冷／水冷の選択が出来る他、メカニカルブースタポンプの組み合わせで更に大排気量が得られます。
また、オイルミストセパレータとオイル戻し機構が内蔵しており、長期間安定した排気性能が得られます。また、オイルやエレメント交換などメンテナンス性も考慮した設計となっています。
油回転真空ポンプ
VD Ver.C
VDシリーズ Ver.C は、回転翼型（２段）のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。2段式の回転翼型構造により到達圧力が良く､最適化設計による低騒音のポンプとなります。オプション仕様も充実しており､幅広い用途でご利用頂ける真空ポンプです。
油回転真空ポンプ
PVD
PVDシリーズは､ 回転翼型（2 段）のベルト駆動式油回転真空ポンプです｡
長年に渡る信頼性と使いやすさから､多くのお客さまにご利用頂いているベルト駆動式油回転真空ポンプです｡
低速回転ポンプなので静かで安定した排気特性が得られます｡
油回転真空ポンプ
PKS
PKS ｼﾘｰｽﾞは､揺動ﾋﾟｽﾄﾝ型のベルト駆動式油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟです｡
堅牢で排気特性の安定した油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟです｡
金属･自動車産業をはじめ､化学･医薬･食品産業などの幅広い用途でご使用頂いています｡
油回転真空ポンプ
UFO-003
各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用の小型・軽量オイルフィルトレーション装置です。
使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
本装置を使用する事により、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。
油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。
半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥など 多くの分野で用いられています。
メカニカルブースタポンプ
PMB-D
汎用型のメカニカルブースターポンプ
PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。
オプションで表面処理や大気圧駆動型が選択でき、空冷での運転も可能となりました。
メカニカルブースタポンプ
PRC
PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。
キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。
メカニカルブースタポンプ
PMB-C
大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースタポンプです。
堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせて、金属・自動車産業をはじめ、
化学・医薬・食品産業等の幅広い用途でご使用いただけます。
排気ユニット
真空排気ユニットは、大気圧から動作でき真空ポンプと動作上限圧力のある真空ポンプを組み合わせた製品や、真空排気以外の機能を兼ね備えた製品です。
排気ユニット
YMV
YMVシリーズは、メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。
ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニットを用意しました。
ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。
注)メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプは別手配となります。
真空ポンプ油
真空ポンプ油は、油回転真空ポンプや油拡散真空ポンプなどの油を使う真空ポンプ専用の油で、潤滑、気密、冷却などの役割を果たし、真空ポンプの性能を左右する重要な要素です。
真空ポンプ油
ULVOIL Rシリーズ
ULVAC純正油「ULVOIL」Rシリーズは、油回転真空ポンプ向けに開発された専用オイルです。幅広い用途・目的別に取り揃えたラインナップの中から、皆様のお使いのポンプに最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は真空ポンプを知り尽くしたULVACならではの高品質特性を追求した、ULVACが自信をもってお勧めするもので、油回転真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
オプションパーツ
真空ポンプのオプションパーツです。
