多段ルーツ型ドライ真空ポンプ GR
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GRの導入・購入・検討について
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。
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GR60
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GR90
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GR180
特長
- 大気～真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能
- 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適
- 汎用インダクションモータに対応
- 防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション）
- マルチ電圧対応モータを採用
用途
- エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
- 各種成膜装置の仕込取出室の排気
- 真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
- 真空断熱やガス充填などの真空ガス置換
仕様
| 型式 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排気速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1860) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 到達圧力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大吸気口圧力 | 大気圧 | |||||||
| 最大排気口圧力 | Pa | 1~大気圧 | ||||||
| 吸気口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排気口 | NW40 | |||||||
| DRP表面処理 | 〇 | |||||||
| モータ | 出力 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電圧 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供給圧力 |
MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口差圧 |
MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流慮 | L/min | >5.0 | ||||||
| 窒素ガス | 一次供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次側 調整圧力 *3 |
MPa | 0.05~0.1(運転時) | ||||||
| 軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 到達圧力は、窒素ガス（軸シールガス）が、5.0SLMの時の値です。
*2 結露しないこと。
*3 レギュレータで調整する圧力計の値です。
*4 窒素ガス(軸シールガス）の流量は、5.0SLM 固定です。
アクセサリ
| 型式 | 材質 | 表面処理 | 質量(kg) | 接続 フランジ |
GR60A | GR90A | GR180A | |
| サイレンサー | RS-01+ キットA |
SUS304 | GBB処理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-02+ キットC |
SUS304 | GBB処理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |
排気曲線
寸法図
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