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スクリュー型ドライ真空ポンプ
LS
アルバック
LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。
特長
- 大気圧付近の排気速度は最大80m3 / hあり、従来の真空ポンプよりも排気時間が約20％短縮できます。
- 標準搭載されている専用サイレンサーがドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下で、運転中にも気にならないレベルになっています。(*1)
- C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。到達圧力時の消費電力を到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。(*2)
- LSシリーズは軸シールガスが不要です。窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。(*3)
- 更に排気速度を高めたい方に、メカニカルブースターポンプを組み合わせていただくことをお勧めしています。組み合わせる事で120～1200m3/hに到達可能です。
(*1) LS120A-Cの場合
(*2) C仕様の場合
(*3) L仕様はパージガスを流す事も可能です
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用途
C 仕様：クリーンプロセス（LS***A-C）
特徴：ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
用途：エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け、スパッタリング / 蒸着 / 貼り合せ / ロードロック室 / TMP補助など
L 仕様：ライトプロセス（LS***A-L）
特徴：表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
用途：水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け、真空乾燥 / 凍結乾燥 / アッシング / 一般産業用途など
仕様
| 型式 |
（C：C仕様） |
LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | |||
| 最大排気速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 到達圧力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 電源圧力 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | |||||||||
| 消費電力機略値 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水量 | L/min | > 2.0 | > 4.0 | |||||||
| バージガス量 *2 | SLM | ー | 0～50 | ー | 0～50 | ー | 0～50 | ー | 0～50 | |
| 最大水蒸気処理用 *3 | kg/h | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | |
| 騒音値 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 吸気口 | KF(水平)／VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 排気口 | KF40 | |||||||||
| 質量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 適合規格 | CE、cTUVus | |||||||||
| 標準付属品 | 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード | |||||||||
| 本体オプション | 電圧仕様：200V級または400V級、シール部材質：パーフロロエラストマー(Lタイプのみ) | |||||||||
| 外部オプション | MBP吸気口変換フランジ、筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ | |||||||||
*1 到達圧力時
*2 C仕様はバージガスを流す事は出来ません。
*3 バージガス使用時の最大水蒸気処理量です。
*4 C仕様はリークレス対応となっていません。
排気速度曲線
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寸法図
