スクリュー型ドライ真空ポンプ|真空ポンプ(低・中真空)|製品情報|ULVAC SHOWCASE

スクリュー型ドライ真空ポンプ

スクリュー型ドライ真空ポンプの導入・購入・検討について

スクリュー型真空ポンプは、ポンプケーシング内のスクリューローターが噛み合った隙間に流体を導き、回転させることで軸方向に流体を連続移動させる真空ポンプです。

スクリュー型ドライ真空ポンプは、平行する2つのスクリューロータがケーシングの内壁及びロータ相互間に僅かな隙間を保ちながら回転することで、ロータとケーシング間に形成される空間が軸方向に連続移送されます。 吸気口よりこの空間に気体を吸入し、排気側へ送る過程で圧縮して移送することで排気されます。 スクリューロータは、矩形、スパイラキシャル形、リショルム形などがあります。 screw_exhaust_principle_diagram.jpg


スクリュー型ドライ真空ポンプ

MS

MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プロセス型のドライ真空ポンプです。腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスで使用することを考慮し設計されています。

スクリュー型ドライ真空ポンプ

LS

LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

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