耐食性と粉体排出性を向上
スクリュー型ドライ真空ポンプ MS
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MSの導入・購入・検討について
MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プロセス型のドライ真空ポンプです。腐食性ガスや粉体排気を伴う真空プロセスで使用することを考慮し設計されています。
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MS120A
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MS600A
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MS1200A
特長
- ロータシャフトやシリンダー等の主要部材に特殊表面処理を施す事により高い耐食性を実現しています。
- スクリュー型のロータシャフトにULVAC独自のユニーク設計によって高い粉体排出性を実現しています。
- 大気圧から到達圧力まで全圧力領域で連続運転が可能です。
用途
- 電子部品・半導体製造装置の真空排気系
エッチング装置、アッシング装置、プラズマクリーニング装置 など - 真空熱処理炉の真空排気系
焼結炉、浸炭炉 など - リチウム電池製造装置の真空排気系
電極乾燥装置、脱泡装置、注液装置 など - 医療・食品関連装置の真空排気系
凍結乾燥装置、真空乾燥装置 など
※MS1200Aは制御基板及びセンサーを追加搭載した仕様を別途準備しております。お問い合わせください。
仕様
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排気速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達圧力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電圧 | 3相、50/60Hz、AC200-240V±10% または 3相、50/60Hz、AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略値 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | L/min | >4.0 | ||
| パージガス量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸気処理量 *1*3 |
kg/h | 1.5 | ||
| 騒音値 *2 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸気口 | KF50(水平) / VG50(垂直) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排気口 | KF40 | |||
| 質量*4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適合規格 | CE、cTUVus | |||
| 標準付属品 | クイックマニュアル、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード、専用サイレンサー1式 | |||
| 本体オプション | 電源電圧：200V級または400V級 シール部材質：フッ素ゴム（FKM）or パーフロロエラストマー（FFKM） |
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| 外部オプション | 筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ | |||
*1：代表値
*2：到達圧力時
*3：パージガス使用時の最大水蒸気処理量です。
*4：サイレンサー含む
排気速度曲線
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寸法図
