多段ルーツ型ドライ真空ポンプ ECO-SHOCK
アルバック
カタログを印刷・
保存する
保存する
ECO-SHOCKの導入・購入・検討について
ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする
画期的なアタッチメントです。
画期的なアタッチメントです。
特長
- 省エネに貢献
ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%（当社比）削減可能
また、ドライポンプの発熱を抑える効果もあり、空調機器の電力削減も可能。
*可燃性、支燃性、有毒性ガスなどの排気に使用するポンプには使用できません。 - ドライポンプの性能改善
到達圧力性能の向上が期待可能
排気の騒音を低減可能
全圧力領域において排気速度の低下なし
1000Pa以下の連続運転時間が多い用途で高い効果を発揮
*排気口を真空にしても問題ないドライポンプに搭載可能。 - 設置が簡単
用途
- 空気、窒素、アルゴン等の不活性ガス排気に使用しているドライ真空ポンプ
- スパッタリングなどの、仕込み取り出し室に使用しているドライ真空ポンプ
仕様
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 電源 | 仕様 | 単相 AC100V-220V 50/60Hz | 単相 AC200V~220V±5% 50/60Hz | ||
| 消費電量 | 65W *1 | 400W | |||
| 制御 | 入力 | 遠隔起動/停止(接点 DC24V有電圧) 接点容量:2.0A以上の無電圧接点をご準備ください。 *2 | |||
| 出力 | 過電流アラーム出力(接点 無電圧) 接点容量:DC24V 1.0A |
起動確認、省エネ確認、本体アラーム、 過電流アラーム |
|||
| 表示 | 運転時間を表示 | 運転時間、起動確認、省エネ確認、 本体アラーム、過電流アラーム |
|||
| 外形寸法 | 本体ユニット | 175mm x 330mm x 240mm | 250mm x 475mm x 373mm | ||
| バルブユニット | Φ66mm x 110mm(NW40) *3 | オプションとなっております。 | |||
| 質量 | 本体ユニット: 9.2kg バルブユニット:800g | 32kg | |||
| 接続 | 接続ポート | G1/4"(INLET, OUTLET) コネクタ取り付け済み |
Φ16mmチューブコネクタ (1.5m以下を推奨致します) |
||
*1：ドライポンプの使用プロセスガス、パージガス 0Pam3/s
*2：ES4Aは手動で起動/停止する場合、制御コネクタのPINをジャンパーすることにより
サーキットプロテクタのON/OFFが可能になります。
*3：ES10にはバルブユニットが標準で付属しております。
効果例
ES4A
| 当社ポンプ型式 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排気速度 *1 | メカニカルブースターポンプ | 1784 m3/hr（29700 L/min） | 3200 m3/hr (53333 L/min） | |
| ドライポンプ | 237 m3/hr（3950 L/min） | 440 m3/hr (7333 L/min） | ||
| 平均消費電力 *2 *3 |
到達圧力運転時 | なし | 6.0 kW | 7.8 kW |
| ES4A付属時 | 2.7 kW | 3.2 kW | ||
| 削減率 | 55 % | 59 % | ||
| 繰り返し排気時 *4 | なし | 7.2 kW | 9.6 kW | |
| ES4A付属時 | 5.7 kW | 6.3 kW | ||
| 削減率 | 21 % | 34 % | ||
*1 電源周波数60 Hz
*2 シールガス5SLM
*3 ECO-SHOCK ES4Aの消費電力を含む
*4 300Lチャンバ繰り返し排気60秒タクトでの測定例
ES10
| 機種名 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排気速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 実測消費電力*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCKを 付属した場合の実測消費電力 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 電力削減率 | 67% | 72% | 76% |
*1 電源周波数60Hz
*2 消費電力は到達圧力時の代表値
*3 ECO-SHOCKの消費電力を含む
*4 シールガス、ガスバラ流量0Pa・m3/sの場合。シールガス、ガスバラの流量により異なります。
寸法図
バルブユニット外観図
|
|
 |
