多段ルーツ型ドライ真空ポンプ CR
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CRの導入・購入・検討について
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
特長
- 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能。
- 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与。
- DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現。
- ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能。
- 適合規格：CE,cTUVus
用途
- エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
- 真空乾燥などの水蒸気排気（ガスバラスト使用が必要）
- スパッタリング、蒸着などの真空装置
仕様
| 型式 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排気速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到達圧力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大吸気口圧力 | 大気圧 | |||||
| 最大排気口圧力 | 大気圧 | |||||
| 電源電圧 *2 | 単相：100V, 200V 3相：200V | 単相：200V | 3相：200V | 3相：200V | ||
| モータ定格 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸気口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排気口 | KF25 | KF40 | ||||
| 質量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 適合規格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷却方式 | 空冷 | |||||
| ガスバラスト機構 *3 | 有り | |||||
| 最大水蒸気処理量 *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 標準付属品 | 電源用コネクタ、信号用コネクタ、取扱説明書、エアーフィルター、ガード | |||||
※1：到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
※2：使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
※3：ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
※4：ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。
本体オプション
| 仕様 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
| ガスバラスト機構 | 手動 （ニードルバルブ） |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
| 電磁弁＋手動 （ニードルバルブ） |
〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||
| ゴム脚 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||||||
アクセサリ
| 型式 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| サイレンサー | RS-01+キットD | 〇 | 〇 | - | - |
| RS-01+キットA | - | - | 〇 | - | |
| RS-01+キットC | - | - | - | 〇 | |
| 簡易型サイレンサー *1 |
EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
| EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
| 電源互換BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 エレメントタイプのため交換メンテナンスが必要です。
*2 ダクトの接続は出来ません。（開放型）
排気曲線
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寸法図
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