多段ルーツ型ドライ真空ポンプ HR
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HRの導入・購入・検討について
ポンプ本体を高温領域で均熱化することで、ＣＶＤ、エッチング等で発生する昇華性排気物質を
気体の状態で排出することが可能なポンプとなっています。
気体の状態で排出することが可能なポンプとなっています。
特長
- 高温領域で均熱化
CVD、エッチングなどで発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能。
URシリーズはHRシリーズよりも、さらなる高温化が可能。 - ヘリウムタイト
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全。 - 瞬停対策
1000msec以内の瞬停対策を施しています。 - 優れた耐食性
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減。 - 通信機能
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能。
用途
- CVD 装置
- エッチング装置
- アッシング装置
- ALD、ALH など
仕様
| 型式 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用ポンプ | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 排気速度 |
50Hz | m3/h (L/min) |
62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60Hz | m3/h (L/min) |
80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 到達圧力 | Pa | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大吸気口圧力 (吸入圧力) |
大気圧 *1 | ||||||||
| 最大排気口圧力 (排出圧力) |
Pa | 1~大気圧 | |||||||
| 吸気口(CE仕様) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排気口 | KF40 | ||||||||
| 質量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | VAC(Hz) | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 電流値 | 定常時 | A | 7.1 (200V時) |
11.2 (200V時) |
7.8 (200V時) |
12.9 (200V時) |
15.4 (200V時) |
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| 最大値 | A | 7.3 (200V時) |
11.8 (200V時) |
8.1 (200V時) |
13.8 (200V時) |
18.9 (200V時) |
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| 冷却水一時圧力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水出入口差圧 | MPa | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | |||||||
| パージガス | 一次圧力 | MPa | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05~0.1 | |||||||
| N2パージ | 軸 | SLM | 5 | ||||||
| ガスバラ | SLM | 0~45 | |||||||
*1 HR300, HR600, HR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。
寸法図
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