多段ルーツ型ドライ真空ポンプ LR
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LRの導入・購入・検討について
ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、ＰＶＤプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。
特長
- 低温領域で均熱化(LRシリーズ)
PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適です。 - ヘリウムタイト
キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。 - 瞬停対策
1000msec以内の瞬停対策を施しています。 - 優れた耐食性
主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。 - 通信機能
ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能です。
用途
- 成膜装置（スパッタリング装置／蒸着装置など）
- 仕込み取り出し室の排気時間短縮
- 補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)
仕様
| 型式 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大排気速度 | 50Hz | m3/h (L/min) |
62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60Hz | m3/h (L/min) |
80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 到達圧力 | 5.0 Pa | ||||||
| 最大吸気口圧力 (吸入圧力) | 大気圧 | ||||||
| 最大排気口圧力 (排出圧力) | 1Pa ~ 大気圧 | ||||||
| 吸気口 (CE仕様) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | ||||
| 排気口 | KF40 | VG50 | |||||
| 質量 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 電力 *1 | 三相 | VAC (Hz) | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 電流値 | 定常時 | A | 6.9 (200V時) | 11.2 (200V時) | 18.9 (200V時) | 20.8 (200V時) | |
| 最大値 | A | 7.3 (200V時) | 11.8 (200V時) | 20.6 (200V時) | 48.5 (200V時) | ||
| 冷却水一時圧力 | MPa | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水出入口差圧 | MPa | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | L / min | >5.0 | >4.0 | ||||
| パージガス | 一次圧力 | MPa | 0.1~0.5 | ||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05~0.1 | |||||
| N2パージ | 軸 | SLM | 5 | ||||
| ガスバラ | SLM | 0~45 | 無し | 0~45 | |||
*1 ご注文時にご指定ください。
| 型式 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 使用ポンプ | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(D-T) | ||
| 最大排気速度 | 50Hz | m3/h (L/min) |
359 (5,980) |
653 (10,900) |
1,012 (16,900) |
1,701 (28,350) |
3,200 (53,333) | |||
| 60Hz | m3/h (L/min) |
365 (6,080) |
701 (11,700) |
1,051M (17,500) |
1,784 (29,700) |
3,200 (53,333) | ||||
| 到達圧力 | 0.67 Pa | |||||||||
| 最大吸気口圧力 (吸入圧力) | 大気圧 | |||||||||
| 最大排気口圧力 (排出圧力) | 1Pa ~ 大気圧 | |||||||||
| 吸気口 (CE仕様) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) |
VG150 (KF100) |
VG150 | ||||||
| 排気口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面処理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T:× TT:× |
× | TR:× TTR:〇 |
||
| 質量 | kg | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 電力 *3 | 三相 | VAC (Hz) | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 電流値 | 定常時 | A | 7.0 (200V時) |
12.3 (200V時) |
13.7 (200V時) |
21.4 (200V時) |
31.0 (200V時) 20.5 (400V時) |
35.4 (200V時) 20.5 (400V時) |
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| 最大値 | A | 9.6 (200V時) |
19.0 (200V時) |
24.2 (200V時) |
39.8 (200V時) |
58.4 (200V時) 40.5 (400V時) |
82.0 (200V時) 40.5 (400V時) |
|||
| 冷却水一時圧力 | MPa | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水出入口差圧 | MPa | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | L / min | >5.0 | >4.0 | |||||||
| パージガス | 一次圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次圧力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2パージ | 軸 | SLM | 5 | |||||||
| ガスバラ | SLM | 0~45 | 無し *4 | 0~45 | 無し *4 | 0~45 | ||||
*2 LR300, LR600, LR1200, LR1800のMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*3 ご注文時にご指定ください。
*4 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積可能です。
アクセサリ
■サイレンサー
| 型式 | 材質 | 表面 処理 |
質量 | 接続フランジ | LR 300 |
LR 600 |
LR 1200 |
LR 1800 |
LR 3601 |
LR 60 |
LR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
| RS-01 + キットA |
SUS 304 |
GBB 処理 |
4.1 kg |
KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
| RS-01 + キットB |
KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + キットA |
8.3 kg |
KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
| RS-02 + キットB |
KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + キットA |
磨き板 | 12.5 kg |
KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + キットB |
- | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |
排気速度曲線
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寸法図
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