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メカニカルブースタポンプ
PRC
アルバック
PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。
キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。
キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。
特長
- オイルフリー
ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。 - キャンドモータ採用
キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。 - 耐腐食性に優れた表面処理
主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。 - 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ）
粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。 - 特殊用途向けにもオプション対応
標準の他、特殊用途向けの機種も用意しております。
| 使用例 | タイプ (種類) | 適用機種 | 表面処理 | オイル |
| 空気や不活性ガス排気 表面処理で異物に対する強度Up |
標準 | PRC-003A, PRC-006A, PRC-012A, PRC-018A |
〇*1 | R-42 鉱物油 |
| 空気や不活性ガス排気 水分吸着による到達圧力の影響を抑えたい場合 |
X | PRC-003A-X, PRC-006A-X, PRC-012A-X, PRC-018A-X |
✖ | R-42 鉱物油 |
| 腐食性ガス,可燃性ガスや酸化性ガスでのオイル劣化対策 表面処理で異物に対する強度Up |
F | PRC-003A-F, PRC-006A-F, PRC-012A-F, PRC-018A-F |
〇 | J25F *2 フッ素油 |
*1 表面処理付の場合は、水分吸着による放出ガスにより排気時時間への影響がでる場合もあります。
*2 フッ素油での組立検査を行いますが付属はしません。必要な場合は別途手配となります。
用途
- 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
- 分析機器、リークテスト装置
- ガス置換、充填、真空断熱
- 熱処理炉、溶解炉
- その他各種真空装置
仕様
| 型式 *1 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | ||
| 最大排気速度 | 50Hz | 280 m3/h （4670 L/min） |
500 m3/h （8330 L/min） |
1000 m3/h （16700 L/min） |
1500 m3 /h （25000 L/min） |
|
| 60Hz | 330 m3/h （5500 L/min） |
600 m3/h （10000 L/min） |
1200 m3/h （20000 L/min） |
1800 m3/h （30000 L/min） |
||
| 最大吸入圧力 | 50Hz | 1.2 x 103 Pa | 1.3 x 103 Pa | 1.2 x 103 Pa | ||
| 60Hz | 9.3 x 102 Pa | 1.1 x 103 Pa | 9.3 x 102 Pa | |||
| 最大許容圧力差 | 50Hz | 4.0 x 103 Pa | 7.3 x 103 Pa | 4.3 x 103 Pa | ||
| 60Hz | 3.3 x 103 Pa | 6.0 x 103 Pa | 3.2 x 103 Pa | |||
| 到達圧力 *2 | 4.0 x 10-1 Pa | 6.7 x 10-1 Pa | ||||
| 駆動可能圧力 | ～1.0 x 105 Pa（大気圧駆動型） | |||||
| モータ *3 | 形式 | キャンドタイプ 三相誘導電動機 | ||||
| 高効率クラス | ー | |||||
| 出力 | 0.75 kW（2極数） | 2.2 kW（2極数） | 3.7 kW（2極数） | 5.5 kW（2極数） | ||
| 電圧 (200V級モータ) |
50Hz | 200 V | ||||
| 60Hz | 200/220 V | |||||
| 使用油 *4 |
ULVOIL R-42
|
|||||
| 所要油量 | 0.7 L | 1.5 L | 1.9 L | |||
| 冷却方式 | 水冷 | |||||
| 冷却水 | 一次側圧力 | 0.3 Mpa | ||||
| 出入口差圧 | 0.01 Mpa以上 | |||||
| 冷却水量 | 2 L/min | 3 L/min | ||||
| 冷却水温度 *5 | 5 ～ 30 ℃ | |||||
| 吸気口径 JIS-B-2290 | VG80相当 | VG100相当 | VG150相当 | |||
| 排気口径 JIS-B-2290 | VF80相当 | VF100相当 | ||||
| 外形寸法 W×D×H *6 | 296×575×260 mm | 356×619×320 mm | 406×759×340 mm | 406×989×340 mm | ||
| 質量 | 51 kg | 86 kg | 118 kg | 150 kg | ||
| 標準補助ポンプ | VD60C | VD90C |
VS2401
|
VS2401 | ||
| 標準付属品 | 取扱説明書1部、油1台分 | |||||
注) 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr
*1 標準品は表面処理 (陽極酸化被膜) あり。 オプションで表面処理なしも選択できます。
*2 ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準)。
*3 耐圧防爆、安増防爆には対応できません。
*4 オプションでフッ素油 (J25F) が選定できます。
*5 結露しない環境でご使用ください。
*6 その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。
排気速度曲線
PRC-003A/006A |
PRC-012A/018A |
寸法図
| PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |
| W | 296 | 356 | 406 | 406 |
| D | 575 | 619 | 759 | 989 |
| H | 260 | 320 | 340 | 340 |
