メカニカルブースタポンプ

メカニカルブースタポンプの導入・購入・検討について

メカニカルブースタポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。
油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。
半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥など多くの分野で用いられています。

メカニカルブースターポンプは、ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアに入り互いに反対方向に同期回転するようになっています。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。ロータはロータ同士およびケーシングと接触することなく、わずかな隙間（0.1～0.3mm）を保ちながら回転し、気体を輸送するので、ロータ室内には潤滑油を必要としません。したがって油蒸気による汚染の少ない真空排気が可能です。