多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプの導入・購入・検討について
多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。
FPD・電子・半導体産業などの分野では、よりクリーンな真空が必要になり、歩留まり改善、メンテナンス性の改善のための真空ポンプが必要となってきています。その中の代表的なポンプに、ルーツ型ドライ真空ポンプがあります。
| 多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、ケーシングと呼ばれる箱の中に三つ葉のロータ(回転体)が２つ入っており、一対のギアによって互いに反対方向に同じ周期で回転しています。ロータ同士、またロータとケーシングは接触することがなく、わずかな隙間を保ちながら回転して気体を移送圧縮します。ロータを多段構造にし、大気圧まで圧縮し、大気中に排気します。ロータ・ケーシング内には油等の封液は使用しておらずクリーンな排気が可能です。ギヤやベアリングには潤滑のために油を使用しておりますが、シール構造を工夫し油がケーシング内に入らないようになっています。 |  |
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
CR
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
ECO-SHOCK
ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする
画期的なアタッチメントです。
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
LR
ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、ＰＶＤプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。
