真空アングルバルブ

複動式

VLPシリーズ

VLPーMB040CH

アルバックテクノ

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧~極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。

特長

  • SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
  • 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
  • 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
  • 材質はステンレス製となります。(ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。)

仕様

型式 VLP-MB
弁板許容最大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
弁開時許容最大差圧(正圧/逆圧) MPa 0.10
弁板シール方式 〇リング
軸シール方式 ベローズ
駆動方式 複動シリンダ
リーク量(外部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
リーク量(内部)*1 Pa・m3/s ≦1.0E-10
使用圧力範囲(絶対圧) Pa 大気圧~1.0E-8
ベーキング許容温度(静止時)*2 本体:150*3,駆動部:70(センサー:60)
動作環境温度 ℃ 5~70(センサー:5~60)
使用流体温度 ℃ 5~70
加熱及び冷却速度 ℃/h ≦30
使用環境雰囲気 非腐食性雰囲気
使用流体 非腐食性流体
シリンダ供給圧空圧力 MPaG 0.40~0.60
保証動作回数*4 10,000
運転姿勢 自由
開閉センサ オプション(別売)
真空側主要部品材質 SUS304
大気側主要部品材質 SUS304,AL-6061(アルマイト)
ベローズ材質 SUS316L
シール部品材質(真空側) 外部シール:メタル
内部シール:FKM
油脂類(真空側) ノングリス
吊具取付部 *5
RoHS 対応

*1 リーク量に〇リングの透過は含みません。また、〇リング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
*2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
*3 VLP-MB,VLH-MB 本体(開時):200℃, 本体(閉時):150℃
*4 詳細は取扱説明書を参照下さい。
*5 VLP-SA350JHは吊り具(アイボルト M12×2個)が本体に取り付けられています。

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