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真空アングルバルブ
複動式
VLPシリーズ
VLPｰSA080JH
アルバックテクノ
アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧～極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。
大気圧～極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。
特長
- SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
- 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
- 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
- 材質はステンレス製となります。（ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。）
仕様
| 型式 | VLP-SA |
| 弁板許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa | 0.10 |
| 弁開時許容最大差圧（正圧/逆圧） MPa | 0.10 |
| 弁板シール方式 | 〇リング |
| 軸シール方式 | 〇リング |
| 駆動方式 | 複動シリンダ |
| リーク量(外部)*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| リーク量(内部)*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| 使用圧力範囲（絶対圧） Pa | 大気圧～1.0E-5 |
| ベーキング許容温度(静止時)*2 ℃ | 本体：150*3，駆動部：70（センサー：60） |
| 動作環境温度 ℃ | 5～70（センサー：5～60） |
| 使用流体温度 ℃ | 5～70 |
| 加熱及び冷却速度 ℃/h | ≦30 |
| 使用環境雰囲気 | 非腐食性雰囲気 |
| 使用流体 | 非腐食性流体 |
| シリンダ供給圧空圧力 MPaG | 0.40～0.60 |
| 保証動作回数*4 | 100,000 |
| 運転姿勢 | 自由 |
| 開閉センサ | オプション（別売） |
| 真空側主要部品材質 | SUS304 |
| 大気側主要部品材質 | SUS304，AL-6061（アルマイト） |
| ベローズ材質 | ー |
| シール部品材質(真空側) | FKM |
| 油脂類(真空側) | フッ素グリス |
| 吊具取付部 | 無*5 |
| RoHS | 対応 |
*1 リーク量に〇リングの透過は含みません。また、〇リング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
*2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
*3 VLP-MB,VLH-MB 本体(開時):200℃, 本体(閉時):150℃
*4 詳細は取扱説明書を参照下さい。
*5 VLP-SA350JHは吊り具（アイボルト M12×2個）が本体に取り付けられています。
