SHOWCASE

真空アングルバルブ

複動式

VLPシリーズ

VLPーU36

アルバック

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧~極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。

特長

  • SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
  • 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
  • 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
  • 材質はステンレス製となります。(ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。)

仕様

型式 VLP-U
弁板許容最大差圧(正圧時) MPa 0.10
弁板許容最大差圧(逆圧時) MPa 対応できません
弁開時許容最大差圧(正圧時) kPa 1.0
弁開時許容最大差圧(逆圧時) kPa 対応できません
弁板シール方式 〇リング
軸シール方式 〇リング
駆動方式 複動シリンダ
リーク量(外部)*1 Pa・m3/s ≦1.3E-7
リーク量(内部)*1 Pa・m3/s ≦1.3E-7
使用圧力範囲(絶対圧) Pa 大気圧~1.0E-5
ベーキング許容温度(静止時)*2 60
動作環境温度 ℃ 5~40
使用流体温度 ℃ 5~40
加熱及び冷却速度 ℃/h ≦30
使用環境雰囲気 非腐食性雰囲気
使用流体 非腐食性流体
シリンダ供給圧空圧力 MPaG 0.40~0.55
保証動作回数*3 100,000
運転姿勢 垂直
開閉センサ オプション(別売)
真空側主要部品材質 SS400 Niメッキ
大気側主要部品材質 SS400 Niメッキ+アクリル系塗装
シール部品材質(真空側) ニトリルゴム
油脂類(真空側) 高純度精製パラフィンオイル
吊具取付部
RoHS 対応

■詳細仕様 VLP-U

接続フランジ VF900
開放コンダクタンス*4 L/s 33,350
シリンダ容積 cc 25,100
圧空供給口径 Rc3/4
開閉動作時間(開)*5 秒 16.5±0.5
開閉動作時間(閉)*5 秒 16.5±0.5
総質量 kg 970
全高寸法A mm 2,376
面間寸法B mm 620

*1 リーク量に〇リングの透過は含みません。また、〇リング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
*2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
*3 詳細は取扱説明書を参照下さい。
*4 コンダクタンスは分子流、20℃、空気での計算値です。
*5 スピードコントローラを用いて、上記表の規定値へ調整下さい。

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