真空アングルバルブ
単動式
VLBシリーズ
VLBーSA050KF
アルバックテクノ
アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧~極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。
大気圧~極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。
特長
- SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
- 接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
- 駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
- 材質はステンレス製となります。(ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。)
仕様
型式 | VLB-SA |
弁板許容最大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
弁開時許容最大差圧(正圧/逆圧) MPa | 0.10 |
弁板シール方式 | 〇リング |
軸シール方式 | 〇リング |
駆動方式 | 複動シリンダ |
リーク量(外部)*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
リーク量(内部)*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
使用圧力範囲(絶対圧) Pa | 大気圧~1.0E-5 |
ベーキング許容温度(静止時)*2 ℃ | 本体:150*3,駆動部:70(センサー:60) |
動作環境温度 ℃ | 5~70(センサー:5~60) |
使用流体温度 ℃ | 5~70 |
加熱及び冷却速度 ℃/h | ≦30 |
使用環境雰囲気 | 非腐食性雰囲気 |
使用流体 | 非腐食性流体 |
シリンダ供給圧空圧力 MPaG | 0.40~0.60 |
保証動作回数*4 | 100,000 |
運転姿勢 | 自由 |
開閉センサ | オプション(別売) |
真空側主要部品材質 | SUS304 |
大気側主要部品材質 | SUS304,AL-6061(アルマイト) |
ベローズ材質 | ー |
シール部品材質(真空側) | FKM |
油脂類(真空側) | フッ素グリス |
吊具取付部 | 無*5 |
RoHS | 対応 |
*1 リーク量に〇リングの透過は含みません。また、〇リング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
*2 ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
*3 VLP-MB,VLH-MB 本体(開時):200℃, 本体(閉時):150℃
*4 詳細は取扱説明書を参照下さい。
*5 VLP-SA350JHは吊り具(アイボルト M12×2個)が本体に取り付けられています。