VLPｰU22｜真空アングルバルブ｜真空バルブ｜製品情報

真空アングルバルブ

VLPｰU22

アルバック

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。
大気圧～極高真空まで、幅広いニーズに対応するラインアップをご用意しています。

特長

SUS製アングルバルブは150℃までのベーキングが可能です。
接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFの4種類から選択できます。
駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。
材質はステンレス製となります。（ただし、VLP-Uは鉄製、VAP、VAH、VFRはアルミ製となります。）

仕様

型式	VLP-U
弁板許容最大差圧（正圧時） MPa	0.10
弁板許容最大差圧（逆圧時） MPa	対応できません
弁開時許容最大差圧（正圧時） kPa	1.0
弁開時許容最大差圧（逆圧時） kPa	対応できません
弁板シール方式	〇リング
軸シール方式	〇リング
駆動方式	複動シリンダ
リーク量(外部)*¹ Pa・m³/s	≦1.3E-7
リーク量(内部)*¹ Pa・m³/s	≦1.3E-7
使用圧力範囲（絶対圧） Pa	大気圧～1.0E-5
ベーキング許容温度(静止時)*² ℃	60
動作環境温度　℃	5～40
使用流体温度　℃	5～40
加熱及び冷却速度 ℃/h	≦30
使用環境雰囲気	非腐食性雰囲気
使用流体	非腐食性流体
シリンダ供給圧空圧力 MPaG	0.40～0.55
保証動作回数*³	100,000
運転姿勢	垂直
開閉センサ	オプション（別売）
真空側主要部品材質	SS400 Niメッキ
大気側主要部品材質	SS400 Niメッキ+アクリル系塗装
シール部品材質(真空側)	ニトリルゴム
油脂類(真空側)	高純度精製パラフィンオイル
吊具取付部	無
RoHS	対応

■詳細仕様　VLP-U

接続フランジ	VF550
開放コンダクタンス*⁴　L/s	10,680
シリンダ容積　cc	9,040
圧空供給口径	Rc3/4
開閉動作時間（開）*⁵　秒	7.0±0.5
開閉動作時間（閉）*⁵　秒	7.0±0.5
総質量　kg	350
全高寸法A　mm	1,556
面間寸法B　mm	420

*1　リーク量に〇リングの透過は含みません。また、〇リング軸シールの場合、開閉動作中の外部リーク量は規定対象外です。
*2　ベーキング中は開閉動作を行わないで下さい。
*3　詳細は取扱説明書を参照下さい。
*4　コンダクタンスは分子流、20℃、空気での計算値です。
*5　スピードコントローラを用いて、上記表の規定値へ調整下さい。