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宇宙開発事業団筑波センターの人工衛星機器試験装置（6mφ放射計チャンバー：製作(株)日立製作所)の真空を作る、主排気に当社の世界最大級52型クライオポンプ(口径：1.5m)が採用され、4台のクライオポンプを製作し納入しました。
52型クライオポンプ
| 52型クライオポンプの仕様 | ||
| 排気速度 | N2: | 61,000 L/s |
| H2: | 84,000 L/s | |
| H2O: | 186,000 L/s | |
| 到達圧力 | 1×10-6Pa以下 | |
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