シングルセンサのサポート情報
よくある質問
CRTMシリーズでよく使われる言葉の意味を知りたいです。
下記URLに纏まっておりますのでご覧ください。
また、弊社以外の蒸着装置や成膜コントローラをご使用の方でも使える用語集となっておりますので、他製品で用語、単語でお困りの方でも是非ご覧ください。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/product-knowledge05/glossary.html
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