水晶発振式成膜コントローラの基礎知識

CRTM 良く聞く用語

ことば よみ 意味・内容
THK シック 膜厚
Z-ratio ゼットレシオ 蒸着物と水晶板の音響インピーダンス補正値
(音響インピーダンス :物質固有の振動の伝わりやすさ)
Tooling ツーリング 実膜厚とCRTM表示の差の補正係数
Density デンシティー 蒸着物の密度
XTAL FAIL クリスタルフェイル 発振に異常が発生した状態、またその時のエラー名
ABORT アボート プログラムを中断すること
spurious スプリアス 主発振周波数より高い周波数で、発振しやすい領域
JUMP ジャンプ 急激に周波数が変わる状態
突沸 とっぷつ 急激加熱などで、蒸気ではなく物体そのものが飛散する状態

HOW TO

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