水晶発振式成膜コントローラの基礎知識
用語集
| ことば | よみ | 意味・内容 |
|---|---|---|
| THK | シック | 膜厚 |
| Z-ratio | ゼットレシオ | 蒸着物と水晶板の音響インピーダンス補正値 （音響インピーダンス ：物質固有の振動の伝わりやすさ） |
| Tooling | ツーリング | 実膜厚とCRTM表示の差の補正係数 |
| Density | デンシティー | 蒸着物の密度 |
| XTAL FAIL | クリスタルフェイル | 発振に異常が発生した状態、またその時のエラー名 |
| ABORT | アボート | プログラムを中断すること |
| spurious | スプリアス | 主発振周波数より高い周波数で、発振しやすい領域 |
| JUMP | ジャンプ | 急激に周波数が変わる状態 |
| 突沸 | とっぷつ | 急激加熱などで、蒸気ではなく物体そのものが飛散する状態 |