水晶発振式成膜コントローラの基礎知識

成膜プロセスを成功に導く、アルバックの水晶板UCRシリーズがリニューアル。
新水晶板UCRシリーズの性能を従来製品と徹底比較しました。

目次

1. 仕様
2. 性能比較: Au
3. 性能比較: Ag

1. 仕様

UCR-5MAU-12 UCR-5MAG-12 CR5G1 CR5S1 PKG5MHz金 PKG5MHz銀
周波数 5MHz
寸法 φ12.4
電極 Au Ag Au Ag Au Ag

対応成膜
コントローラ

CRTM-6000G/CRTM-9200
(上記を含むCRTMシリーズに対応)

搭載可能センサ シングルセンサ(CRTM-0, 4, 6)
マルチセンサ(CRTM-12NS, M6)
電極表面 標準仕上げ
販売単位 12枚1組
CRTM-12へ簡単に移し替え可能
5枚1箱
紙入り角箱
10枚1組
回転型ケース

2. 性能比較: Au 

熱衝撃による周波数変化

熱を与えた際の周波数上昇が小さければ、外乱となる熱による影響が少ないので、RATEの安定性がより優れています。
また、個々のデータで差が小さいほど再現性も良くなります。

ハロゲンランプで試験開始10秒後に照射、30秒後に照射を止めたデータ
(ave.: 試験個数毎の変動量平均値、σ: 試験個数の標準偏差)
newucr_compare_Au_1.png

発振周波数の変動分布

周波数変動量が少ない(ΔFが0に近い)個体が多いほど、安定した測定ができます。

成膜していない状態での測定値
(ΔF: 周波数変動量)
newucr_compare_Au_2.png

3. 性能比較: Ag

熱衝撃による周波数変化

熱を与えた際の周波数上昇が小さければ、外乱となる熱による影響が少ないので、RATEの安定性がより優れています。
また、個々のデータで差が小さいほど再現性も良くなります。

ハロゲンランプで試験開始10秒後に照射、30秒後に照射を止めたデータ
(ave.: 試験個数毎の変動量平均値、σ: 試験個数の標準偏差)
newucr_compare_Ag_1.png

発振周波数の変動分布

周波数変動量が少ない(ΔFが0に近い)個体が多いほど、安定した測定ができます。

成膜していない状態での測定値
(ΔF: 周波数変動量)
newucr_compare_Ag_2.png

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