水晶発振式成膜コントローラの基礎知識
新水晶板UCRシリーズと従来品の性能比較
成膜プロセスを成功に導く、アルバックの水晶板UCRシリーズがリニューアル。
新水晶板UCRシリーズの性能を従来製品と徹底比較しました。
目次
1. 仕様
| UCR-5MAU-12 | UCR-5MAG-12 | CR5G1 | CR5S1 | PKG5MHz金 | PKG5MHz銀 | |
| 周波数 | 5MHz | |||||
| 寸法 | φ12.4 | |||||
| 電極 | Au | Ag | Au | Ag | Au | Ag |
|
対応成膜 |
CRTM-6000G/CRTM-9200 |
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| 搭載可能センサ | シングルセンサ(CRTM-0, 4, 6) マルチセンサ(CRTM-12NS, M6) |
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| 電極表面 | 標準仕上げ | |||||
| 販売単位 | 12枚1組 CRTM-12へ簡単に移し替え可能 |
5枚1箱 紙入り角箱 |
10枚1組 回転型ケース |
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2. 性能比較: Au
熱衝撃による周波数変化
熱を与えた際の周波数上昇が小さければ、外乱となる熱による影響が少ないので、RATEの安定性がより優れています。
また、個々のデータで差が小さいほど再現性も良くなります。
ハロゲンランプで試験開始10秒後に照射、30秒後に照射を止めたデータ
(ave.: 試験個数毎の変動量平均値、σ: 試験個数の標準偏差)
発振周波数の変動分布
周波数変動量が少ない(ΔFが0に近い)個体が多いほど、安定した測定ができます。
成膜していない状態での測定値
(ΔF: 周波数変動量)
3. 性能比較: Ag
熱衝撃による周波数変化
熱を与えた際の周波数上昇が小さければ、外乱となる熱による影響が少ないので、RATEの安定性がより優れています。
また、個々のデータで差が小さいほど再現性も良くなります。
ハロゲンランプで試験開始10秒後に照射、30秒後に照射を止めたデータ
(ave.: 試験個数毎の変動量平均値、σ: 試験個数の標準偏差)
発振周波数の変動分布
周波数変動量が少ない(ΔFが0に近い)個体が多いほど、安定した測定ができます。
成膜していない状態での測定値
(ΔF: 周波数変動量)