CRTMシリーズ・CRTSシリーズの特長

水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ

アルバックの水晶式成膜コントローラは、コンパクトでコストパフォーマンスに優れたCRTM-6000G及び新しい測定方式を採用しレート安定性に優れたハイパフォーマンスモデルCRTM-R1(-EL)を用意しています。

CRTM-6000Gは、研究開発/生産用の成膜コントローラとしてご好評をいただいたCRTM-6000のバージョンアップ機種です。コンパクトなハーフラックサイズですが、分解能0.04Åの優れた測定性能や2センサ接続、3chアナログ出力、プログラム可能なI/O、99層までの多層膜制御など性能・機能ともに充実したモデルになっています。

■ 2センサ接続

シングルセンサを2本まで接続する事ができます。（同時計測は不可、切り替え式）

■ 高分解能

優れた膜厚・成膜速度測定分解能（0.04Å）により、成膜速度が低い場合の制御にも有効です。

■ 高速サンプリング

サンプリングレートが速い（125ms）ため、レスポンスの良い制御が可能です。

■ 多層膜制御

最大99層までの多層膜制御プログラム（プロセスプログラム）を30種類作成できます。

■ プログラマブルデジタル入出力

12chのデジタル入出力信号がプログラム可能ですので、装置への接続に自由度が持てます。

■ 3chアナログ出力

POWERの他、RATE,THKなど計3chのプログラム可能なアナログ出力を標準装備しています。

■ 99種類の蒸着プログラム

最大99種類の蒸着シーケンスをプログラムすることができます。

■ きめ細やかな制御

予備加熱や成膜速度制御がそれぞれ3段階まで入力できますので、より細やかな制御が行えます。

■ 上位通信

上位通信用にRS-232Cを標準装備していますので、PCからの制御が容易です。

外観寸法図

CRTM-6000Gの詳細へ

■ レート安定性向上

新しい測定方式の採用でレート安定性が大幅に向上しています。

■ 高分解能

優れた膜厚・レート分解能(0.0018Å @5MHz)により低レート蒸着制御にも最適です。

■ 多元同時蒸着制御

最大8元までの同時蒸着制御が可能です。(オプション追加)

■ Ethernet対応

通信方式はRS-232CのほかEthernetにも対応しています。

■ ログデータ保存

本体に各種のログデータが保存可能で、USBへ転送して解析ができます。

有機EL蒸着やペロブスカイト太陽電池蒸着プロセス制御に最適化された製品

CRTM-R1-ELもラインアップしています。Z-ratioが未知の材料でも自動で計算しながら成膜する事が可能です。

外観寸法図

レート安定性の向上

新しい測定方式の採用により、従来機に比べてレート安定性が大幅に向上しました。

MLC機能

膜厚計算において、水晶振動子への成膜履歴（膜厚、音響インピーダンス比、密度等）をすべて考慮した多層膜計算を行いますので、新たな成膜層の膜厚をより正確に求める事が出来ます。

水晶発振式成膜コントローラ用センサ CRTSシリーズ

CRTSシリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。
様々な蒸着装置に広くご使用頂く為に、豊富なラインナップをご用意しております。

CRTSシリーズの選択肢

・ベーキングの有無、使用温度などの条件により選ぶことができます。
・コンパクトなセンサヘッドで、装置内での配置がし易い。
・長寿命タイプオシレータの選択も可能です。
・クリスタル周波数は、4MHz、5MHz （6MHz：特型対応）です。

型式	用途・特長
CRTS-0	水冷パイプ無し蒸着センサ 80℃以下の蒸着
CRTS-0	水冷パイプ無し蒸着センサ 水冷ジャケット付 300℃以下の蒸着
CRTS-4	蒸着センサ 100℃以下の蒸着
CRTS-6	蒸着センサ 200℃以下の蒸着
CRTS-4U	ベーカブル蒸着センサ
CRTS-6U	ベーカブル蒸着センサ 超高真空用200℃以下の蒸着

接続図

外観寸法図

・水晶板を6枚(CRTS-M6)，12枚(CRTS-12NS)搭載し、有機蒸着や連続多層蒸着に最適です。
・信頼性の高いモータ式駆動方式
・脱着可能なホルダ式で、簡単に水晶板の交換ができます。
・水晶板の発振異常（寿命）を検知して、自動的に水晶板を切り替えが可能。
　（コントローラにCRTMシリーズを使用した場合）
・CRTS-M6はΦ50mmのコンパクトヘッドで装置取付が容易です。

型式	用途・特長
CRTS-M6	マルチセンサ 6連 350℃以下の厚膜連続蒸着
CRTS-12NS	マルチセンサ 12連 350℃以下の厚膜連続蒸着

接続図