ULVAC
ULVAC SHOWCASE
CVD / ALD / Etchingプロセスのサポート情報
よくある質問
スパッタリング装置対応機種は1Pa以下、それ以外の機種は1E-2Pa以下の圧力で使用可能です。差動排気系付きの機種であれば最大で大気圧での測定も可能となります。
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