CVD / ALD / Etchingプロセスガス分析計（プロセスガスモニタ）のサポートページです。

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取扱説明書・仕様書

• ●RGM2-201Fクイックマニュアル

図面（2D）

図面（3D）

該非判定結果報告書

• ●ガス分析計（プロセスガスモニタ）CVD / ALD / Etchingプロセス該非判定結果報告書

SDS

その他

トラブルシューティング

• 真空計で表示されている圧力とQCSで表示されている全圧の値に差異があります。
• 通信エラーという表示になります。
• 他の内容も確認がしたいです。

よくある質問

• Qulee with YTP-Hを使用時に汚れが多い雰囲気での測定を行っているのですが、このような状況下で測定した場合のメンテナンスの周期を教えてください。
• ガス分析計で測定できる圧力帯はどれくらいですか？
• 他の内容も確認がしたいです。