ULVAC
ULVAC SHOWCASE
CVD / ALD / Etchingプロセスのサポート情報
トラブルシューティング
Quleeと真空計の取付位置の違いや原理の違いで数値のズレが生じてしまいます。また、QCSの機能の全圧補正という機能を使用していただくと、Quleeの全圧値を校正することが出来ます。
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