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ULVAC SHOWCASE
CVD / ALD / Etchingプロセスのサポート情報
よくある質問
清浄な真空雰囲気と比べるとイオンソースやオリフィスの寿命が短くなる可能性があります。汚れとなるガスの種類と量によるのでメンテナンスの周期は一概には言えません。
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