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金属膜用EB枪
EGN 系列
EGN-406M
ULVAC
EGN系列是以提高可维护性为主轴新开发的金属蒸发用EB枪。
采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。
采用平顶结构，减少了EB枪的着膜面积，实现了易维护性。
特点
- 采用平顶结构，减少了电子束蒸发源上的成膜区域，使清洁变得容易
- 采用新的发射结构可将部件数量减少到传统产品的60％，从而简化了装配
- 适用于金属成膜，氧化物/化合物点光束。
- 作为设备制造商经验积累的成果
用途
- 电子束蒸发的蒸发源
规格
| Model | EGN-206M | EGN-406M |
| Deflection angle | 270° | 270° |
| Quantity of crucibles | 6 | 6 |
| Crucible capacity | 20cc | 40cc |
| Cooling-water flow rate | 10L/min | 10L/min |
| Dimensions W×D×H | 267mm×343mm×150mm | 267mm×343mm×150mm |
| Weight | 28kg | 28kg |
