爱发科集团生产，销售的真空相关的设备介绍。
关于真空沉积电子枪的介绍、购买、商讨
EB蒸镀（电子束蒸镀）是一种利用电子束加热并蒸发材料，在基板上形成薄膜的技术。该技术的特点是能够形成高精度和高纯度的薄膜，因此在多个领域得到了广泛应用。特别是在高熔点材料或需要高纯度薄膜的成膜过程中，该技术尤为适用，并被广泛应用于光学、电子和装饰等各种产业领域。
EB蒸镀（电子束蒸镀）在多个领域得到广泛应用。其用途主要分为两种薄膜类型，具体示例如下：EB蒸镀（电子束蒸镀）在多个领域得到广泛应用。其用途主要分为两种薄膜类型，具体示例如下：① 光学薄膜・镜头和镜面的防反射膜（AR涂层）・反射膜和干涉膜（例如激光光学部件和滤光片）・光学元件的高精度多层膜涂层② 金属薄膜・在半导体、集成电路（IC）和功率器件制造中形成电极膜・饰品的表面涂层
成功进行EB蒸镀的关键在于正确管理以下几个方面・真空环境的管理・电子束的控制・材料和基板的质量管理・膜厚和蒸镀速度的稳定化通过适当管理这些因素，并加强安全措施，可以实现稳定的工艺流程和高质量的薄膜形成。
泵的种类
电子枪
用于EB蒸镀的电子枪（电子束枪）是一种利用电子束对材料进行加热和蒸发的设备。与传统的电阻加热相比，它能够达到更高的温度，因此可以有效地蒸发高熔点材料。此外，其高精度和均匀薄膜形成的能力也是其主要特点之一。爱发科（ULVAC）提供了多种适用于不同用途的电子枪（电子束枪）产品系列。
实验室_用于金属的EB源_EGK系列
EGK系列
EGK-3 电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果，旨在提高性能和可靠性。
该蒸发源有一个最大输入功率为 5 kW 的炉膛。
坩埚容量为 2.6cc，适用于实验和小规模生产。
用于金属的EB源_EGL系列
EGL系列
EGL 系列电子束蒸发源是 ULVAC 多年技术积累和业绩记录的结果，旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列拥有各种类型的喷枪阵容，可用于任意多层薄膜沉积、厚膜的高速沉积和超高真空实验。
电子枪电源
电子枪电源是支持电子束蒸镀工艺的重要系统，由以下两个主要组成部分构成：
电子枪控制器
对电子束进行精确控制，均匀加热蒸镀材料，从而支持高质量薄膜的形成。
EB电源
稳定地提供生成电子束所需的能量，确保设备的稳定运行。
通过这两个组件的密切配合，实现了电子束蒸镀工艺的高效性和稳定性。
EB源电源_HPS系列
HPS系列
基于爱发科多年的技术积累和成果，该电源兼容电子束蒸发源，可稳定电路并提高性能。
当与 EGC-10GS 电子束枪控制器结合使用时，它可用于光学薄膜电子束枪和金属薄膜电子束枪。