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具有高可靠性和先进电弧处理功能的直流电源

脉冲和直流电源系统
直流电源 _DC系列
DC系列

ULVAC

关于DC系列的介绍、购买、商讨

DC 系列是用于溅射的直流电源 (DC Power Supply)。 它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源,通过在设计中体现我们多年积累的专业知识,包括电源的应用,非常适合等离子负载。

特点

  • 轻巧且节省空间的设计
  • 提供 800V 和 1000V 输出电压范围(仅限 10/20kW 产品)
  • 对等离子体有深入的了解,进行输出控制
  • 强制风冷系统不需要冷却水
  • 配备出色的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路
  • 最多可并联 12 台 (240kW) (仅限 10/20kW 产品)
  • 符合 CE、SEMI F47 和 RoHS(不包括 DCS 和 400V 规格)

规格

DCS0052B DC-2 DC-4
电压 相的 AC100V/200V 三相AC200V/220V
1kVA 或更低 3.5kVA 或更低 6.2kVA 或更低
定功率 500W 2kW 4kW
1.25A 5A 10A
电压 800V
点火电压 约 1100V 1200V
控制 控制精度 定功率的 ±1% 的 ±1%
控制保修范围 分的 10-100% 定功率的 1-100%
外部控制 Analog/Digital Analog/Digital、通信(RS232C 或 RS485)
运行
冷却方式
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 240×450×99(mm) 241×610×133(mm)
9kg 15kg
适合 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲)

DC-10-AM DC-10-H-AM DC-10-4-AM DC-20-AM DC-20-H-AM DC-20-4-AM DC-20-4-AM
电压 三相AC208V 三相AC380-
400V
三相AC208V 三相AC380-
400V
三相AC380-
400V
13.5kVA 或更低 25kVA 或更低 41.5 kVA 或更低
定功率 10kW 20kW 30kW
25A 18A 25A 50A 40A 50A 50A
电压 800V 1000V 800V 800V 1000V 800V 800V
点火电压 1500V
控制 控制精度 ±出的 0.5% 或的 ±1% 或更低,以大者准。
控制保修范围 恒功率控制:定功率的 10-100%
外部控制 Analog/Digital、通信(RS232C 或 RS485) 串行控制(RS232C 或 RS485)/EtherCAT
运行
冷却方式 强制风冷
外形尺寸(W×D×H) 不包含突起 483×630×133(mm) 483×650×
177(mm)
29kg 36kg 45kg
适合 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) RoHS(欧洲) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧洲) RoHS(欧洲) CE、SEMI
F47、RoHS(欧洲)

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