具有高可靠性和先进电弧处理功能的直流电源
脉冲和直流电源系统
直流电源 _DC系列
DC系列
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关于DC系列的介绍、购买、商讨
DC 系列是用于溅射的直流电源 （DC Power Supply）。 它由可靠的元件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源，通过在设计中体现我们多年积累的专业知识，包括电源的应用，非常适合等离子负载。
特点
- 轻巧且节省空间的设计
- 提供 800V 和 1000V 输出电压范围（仅限 10/20kW 产品）
- 对等离子体有深入的了解，进行输出控制
- 强制风冷系统不需要冷却水
- 配备出色的 ARC 功能和高速 ARC 切断电路
- 最多可并联 12 台 （240kW） （仅限 10/20kW 产品）
- 符合 CE、SEMI F47 和 RoHS（不包括 DCS 和 400V 规格）
规格
| 型 | DCS0052B | DC-2 | DC-4 | |
| 输入规格 | 输入电压 | 单相的 AC100V/200V | 三相AC200V/220V | |
| 输入电容 | 1kVA 或更低 | 3.5kVA 或更低 | 6.2kVA 或更低 | |
| 输出规格 | 额定功率 | 500W | 2kW | 4kW |
| 额定电流 | 1.25A | 5A | 10A | |
| 额定电压 | 800V | |||
| 点火电压 | 约 1100V | 1200V | ||
| 控制 | 控制精度 | 额定功率的 ±1% | 设定值的 ±1% | |
| 控制保修范围 | 评分的 10-100% | 额定功率值的 1-100% | ||
| 外部控制 | Analog/Digital | Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485） | ||
| 并联运行 | 无 | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 240×450×99（mm） | 241×610×133（mm） | ||
| 质量 | 约9kg | 15kg | ||
| 适合规格 | 无 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | ||
| 型 | DC-10-AM | DC-10-H-AM | DC-10-4-AM | DC-20-AM | DC-20-H-AM | DC-20-4-AM | DC-20-4-AM | |
| 输入规格 | 输入电压 | 三相AC208V | 三相AC380- 400V |
三相AC208V | 三相AC380- 400V |
三相AC380- 400V |
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| 输入电容 | 13.5kVA 或更低 | 25kVA 或更低 | 41.5 kVA 或更低 | |||||
| 输出规格 | 额定功率 | 10kW | 20kW | 30kW | ||||
| 额定电流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | 50A | |
| 额定电压 | 800V | 1000V | 800V | 800V | 1000V | 800V | 800V | |
| 点火电压 | 1500V | |||||||
| 控制 | 控制精度 | ±额定输出的 0.5% 或设定值的 ±1% 或更低，以较大者为准。 | ||||||
| 控制保修范围 | 恒功率控制：额定功率值的 10-100% | |||||||
| 外部控制 | Analog/Digital、通信（RS232C 或 RS485） | 串行控制（RS232C 或 RS485）/EtherCAT | ||||||
| 并联运行 | 有 | |||||||
| 冷却方式 | 强制风冷 | |||||||
| 外形尺寸（W×D×H） 不包含突起 | 483×630×133（mm） | 483×650× 177（mm） |
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| 质量 | 29kg | 36kg | 45kg | |||||
| 适合规格 | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | RoHS（欧洲） | CE、KC、SEMI F47、RoHS（欧洲） | RoHS（欧洲） | CE、SEMI F47、RoHS（欧洲） |
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